[发明专利]一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法

权利要求书

1.一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)分布式部署：根据设备的情况，进行分布式网络部署，每台电子束提纯设备使用一台控制机作为终端控制机，终端控制机和电子束提纯设备上的PLC工控系统对接，同时所有的终端控制机都通过高速以太网络连接到中央控制中心；

(2)基本参数拾取：根据电子束提纯设备的特点，采取硅料的含磷比例为基本输入指标，所有的环控参数为基本辅助参数，电子束路径为核心参数；

(3)电子束路径规划：电子束按照横向、纵向、螺旋线、环形扫描的方式，在电子束提纯设备中进行扫描，同时建立扫描模型和基本参数的闭环关系，并存储下来；

(4)分布式算法控制：所有的电子束提纯设备向中央控制中心发送硅料的基本参数信息,中央控制中心根据这些参数，发送炼制方案，同时在炼制过程中，对硅料进行实时监控和工作参数调整。

2.根据权利要求1所述的一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法，其特征在于，所述步骤(3)中，当分布式系统中存在N个设备的时候，按照整体的提纯时间T，扫描区块分为W＝T/N，按照横向、纵向、螺旋线、环形扫描方式分别进行分布，然后进行提纯作业，最后分别测量N个设备中所得成品的杂质含量，按照从低到高排序，在下一个产程中，将杂质最高的扫描方式去掉，继续填充扫描区块W，然后进行提纯生产；如此往复，直到产生一个比较稳定的针对该批原料的扫描参数清单，该清单将用于下个批次中，各种杂质含量最接近的原料的生产过程。