[发明专利]位移检测装置、位移检测方法及基板处理装置在审
| 申请号： | 201710650900.4 | 申请日： | 2017-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN107764193A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 角间央章;北村一博 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03;G01B11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人： | 崔炳哲,向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以优异的精度检测定位对象物相对基准位置在实际空间中的位移的技术。位移检测装置包括拍摄机构，其将定位对象物或与定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括该拍摄对象物的图像；位移检测机构，其从由拍摄机构拍摄到的图像检测拍摄对象物，基于检测到的拍摄对象物在图像内的位置，检测定位对象物的位移；位移检测机构根据在图像内检测到拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离乘以根据图像内的拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出定位对象物的位移量。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测 装置 方法 处理 | ||
【主权项】：
一种位移检测装置，其中，包括：移动机构，使定位对象物移动并定位；拍摄机构，将上述定位对象物作为拍摄对象物，或者将伴随上述定位对象物的位移与上述定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括上述拍摄对象物的图像；位移检测机构，从由上述拍摄机构拍摄到的上述图像检测上述拍摄对象物，基于检测到的上述拍摄对象物在上述图像内的位置，检测上述定位对象物的位移；上述位移检测机构根据在上述图像内检测到上述拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离乘以根据上述图像内的上述拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出上述定位对象物的位移量。
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