[发明专利]位移检测装置、位移检测方法及基板处理装置

权利要求书

1.一种位移检测装置，其中，包括：

移动机构，使定位对象物移动并定位；

拍摄机构，将上述定位对象物作为拍摄对象物，或者将伴随上述定位对象物的位移与上述定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括上述拍摄对象物的图像；

位移检测机构，从由上述拍摄机构拍摄到的上述图像检测上述拍摄对象物，基于检测到的上述拍摄对象物在上述图像内的位置，检测上述定位对象物的位移；

上述位移检测机构根据在上述图像内检测到上述拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离乘以根据上述图像内的上述拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出上述定位对象物的位移量。

2.根据权利要求1所述的位移检测装置，其中，

预先准备与上述拍摄对象物对应的基准图像，

上述位移检测机构在上述图像内搜索与上述基准图像相当的区域，并检测上述图像内的上述拍摄对象物的位置。

3.根据权利要求1或2所述的位移检测装置，其中，包括：

存储机构，存储上述图像内的上述拍摄对象物的位置和与该位置关联的上述系数的关系，

上述位移检测机构基于在上述图像内检测到上述拍摄对象物的位置和存储于上述存储机构的上述关系，求出上述定位对象物的位移量。

4.根据权利要求3所述的位移检测装置，其中，

上述拍摄对象物的位置和上述系数的关系基于多个图像各自的上述拍摄对象物的位置和大小的关系预先求出，上述多个图像是上述拍摄机构拍摄由上述移动机构分别定位于多个位置的上述拍摄对象物的图像。

5.根据权利要求2所述的位移检测装置，其中，

上述位移检测机构基于在上述图像内检测到的与上述基准图像相当的区域和上述基准图像的大小的比，设定上述系数。

6.根据权利要求1或2所述的位移检测装置，其中，

上述位移检测机构检测在上述图像内检测到的拍摄对象物的大小，基于检测结果设定上述系数。

7.一种基板处理装置，其中，包括：

保持机构，保持工件；

喷嘴，喷出流体向上述工件供给；以及

权利要求1所述的位移检测装置，将上述喷嘴作为上述定位对象物。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，包括：

判定机构，判定由上述位移检测机构检测到的上述喷嘴相对上述基准位置的位移量，是否超过规定的允许位移量。

9.一种基板处理装置，其中，包括：

保持机构，保持工件；

喷嘴，喷出流体向上述工件供给；

移动机构，使上述喷嘴移动并定位；

拍摄机构，将上述喷嘴作为拍摄对象物，或者将伴随上述喷嘴的位移与上述喷嘴一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括上述拍摄对象物的图像；

位移检测机构，从由上述拍摄机构拍摄到的上述图像检测上述拍摄对象物，基于检测到的上述图像内的上述拍摄对象物的位置，检测上述喷嘴的位移；以及

判定机构，判定由上述位移检测机构检测到的上述喷嘴的位移量是否超过规定的允许位移量；

上述判定机构在上述图像内检测到的上述拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离，超过上述允许位移量乘以根据上述图像内的上述拍摄对象物的大小确定的系数得到的值时，判定上述位移量超过上述允许位移量。

10.根据权利要求7或9所述的基板处理装置，其中，

上述喷嘴设置有圆筒形部位，

上述位移检测机构从上述图像检测上述圆筒形部位的两侧面间的距离，根据该检测结果设定上述系数。

11.一种位移检测方法，检测由移动机构移动并定位的定位对象物的位移，其中，包括：

拍摄工序，将上述定位对象物作为拍摄对象物，或者将伴随上述定位对象物的位移与上述定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括上述拍摄对象物的图像；以及

位移检测工序，从上述拍摄工序中拍摄到的上述图像检测上述拍摄对象物，基于检测到的上述拍摄对象物在上述图像内的位置，检测上述定位对象物的位移；

上述位移检测工序中，根据在上述图像内检测到上述拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离，乘以根据上述图像内的上述拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出上述定位对象物相对上述基准位置的位移量。