[发明专利]位移检测装置、位移检测方法及基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测在空间内移动并定位的定位对象物相对基准位置的位移的技术。

背景技术

作为检测能够移动的定位对象物的位置或者判定定位对象物是否被定位于指定的位置的技术，使用照相机等拍摄机构拍摄定位对象物，根据图像解析检测图像内的定位对象物的位置。例如，日本特开2015-152475号公报记载的技术中，将相对基板能够移动并喷出处理液等的处理喷嘴作为定位对象物。而且，以由照相机拍摄的图像中的处理喷嘴的位移量乘以与拍摄倍率相应的比例系数得到的值，近似地表示实际空间的位移量。

在上述现有技术那样的基板处理装置中，定位对象物即处理喷嘴的定位的优劣，是根据将预先指定的适当位置作为基准位置时定位对象物的位移量是否落在允许范围内来判定的。此时评价的位移量应当是实际空间内的位移量。

另一方面，在拍摄到的图像内检测出的定位对象物的位置偏差量，即与基准位置之间的距离，并不一定与实际空间内的位移量一致。即，由于定位对象物的移动方式以及定位对象物与拍摄机构之间的位置关系，在图像内检测出的位置偏差量的大小和实际空间的位移量之间通常存在非线形的关系。

例如，即使实际空间的位移量相同，定位对象物位于离拍摄机构比较近的位置时图像内的位移也会变得比较大，而定位对象物位于更远的位置时图像内的位移会变小。因此，有必要根据定位机构和拍摄机构之间的距离，使用于将图像内的位移量换算成实际空间的位移量的系数差异化。在这样将图像内的位移量乘以恒定的比例系数来用作实际空间的位移量的方法中，有可能存在检测精度不高的情况。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，目的在于，提供一种能够以优异的精度检测定位对象物相对基准位置在实际空间中的位移的技术。

为了实现上述目的，本发明一方式提供位移检测装置，包括：移动机构，其使定位对象物移动并定位；拍摄机构，其将定位对象物作为拍摄对象物，或者将伴随定位对象物的位移与定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括拍摄对象物的图像；位移检测机构，其从由拍摄机构拍摄到的图像检测拍摄对象物，基于检测到的拍摄对象物在图像内的位置，检测定位对象物的位移；位移检测机构根据在图像内检测到拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离，乘以根据图像内的拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出定位对象物的位移量。

另外，为了实现上述目的，本发明的另一方式提供位移检测方法，该方法检测由移动机构移动并定位的定位对象物的位移，包括：拍摄工序，将定位对象物作为拍摄对象物，或者将伴随定位对象物的位移与定位对象物一体地位移的物体作为拍摄对象物，拍摄包括拍摄对象物的图像；以及位移检测工序，从拍摄工序中拍摄到的图像检测拍摄对象物，基于检测到的拍摄对象物在图像内的位置，检测定位对象物的位移；位移检测工序中，根据在图像内检测到的拍摄对象物的位置和规定的基准位置的距离，乘以根据图像内的拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出定位对象物相对基准位置的位移量。

在这样构成的发明中，应对因拍摄对象物和拍摄机构之间的距离而图像内的位移量和实际空间中的位移量的关系发生变化的问题，无论两者间的距离如何，都能够高精度地求出实际空间的定位对象物的位移量。其理由如下所述。

在拍摄对象物位于靠近拍摄机构的位置的情况下，拍摄对象物在图像内占据的面积变得比较大，拍摄对象物移动时在图像内的位移也会变得比较大。另一方面，在拍摄对象物位于更远的位置的情况下，在图像内显示得比较小，实际空间的移动在图像内显示得看起来比较小的位移。换言之，例如，即使在以像素数表示的图像内的位移量相同，拍摄对象物位于远离拍摄机构时的实际空间的位移量大于拍摄对象物位于靠近拍摄机构时的实际空间的位移量。

因此，在本发明中，基于图像内检测到的拍摄对象物的位置和基准位置之间的距离，乘以根据图像内的拍摄对象物的大小确定的系数得到的值，来求出实际空间的定位对象物的位移量。这样，在将图像内检测到的位移量换算成实际空间的位移量时，能够适用图像内的拍摄对象物的大小，即与拍摄对象物和拍摄机构的距离相适应的系数。这样，通过将拍摄对象物和拍摄机构的距离反映到系数上进行换算，能够抑制由距离的不同引起的计算误差，能够高精度地求出实际空间的定位对象物的位移量。