[发明专利]蒸发源装置及蒸镀机有效
| 申请号： | 201710633446.1 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107299321B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源装置，包括第一容器、设于所述第一容器内用于容纳并加热有机材料的第二容器以及设于所述第一容器外的阻挡块，所述第一容器顶部、所述第二容器顶部分别设有喷嘴和蒸气孔，所述阻挡块设于所述喷嘴的喷孔周围，且所述喷孔截面为倒置梯形。本发明还公开了一种蒸镀机。本发明的喷孔截面为倒置梯形，并在喷孔外围设有阻挡块以阻止或限制无效方向的喷出的有机材料沉积，并且改善了阻挡块的内表面的有机材料沉积现象，提高蒸镀材料利用率的同时，避免了喷嘴堵塞情况的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括内部真空的第一容器(10)、设于所述第一容器(10)内用于容纳并加热有机材料的第二容器(20)以及设于所述第一容器(10)外的阻挡块(30)，所述第一容器(10)顶部、所述第二容器(20)顶部分别设有喷嘴(100)和蒸气孔(200)，所述喷嘴(100)为条形，顶部形成有多行线性排列的喷孔(100a)，所述阻挡块(30)设于所述喷嘴(100)上方、且位于喷孔(100a)周围，且所述喷孔(100a)截面为倒置梯形；所述阻挡块(30)包括相对设置的条状的第一阻挡块(31)和第二阻挡块(32)、设置在所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)之间的第三阻挡块(33)；所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)的延伸方向平行于每行所述喷孔(100a)的排列方向，且所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)分别位于多行所述喷孔(100a)的两侧；所述第三阻挡块(33)设于相邻的两行所述喷孔(100a)之间，所述第三阻挡块(33)上分别朝向相邻的两行所述喷孔(100a)的面为斜面。
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