[发明专利]蒸发源装置及蒸镀机

说明书

本发明公开了一种蒸发源装置，包括第一容器、设于所述第一容器内用于容纳并加热有机材料的第二容器以及设于所述第一容器外的阻挡块，所述第一容器顶部、所述第二容器顶部分别设有喷嘴和蒸气孔，所述阻挡块设于所述喷嘴的喷孔周围，且所述喷孔截面为倒置梯形。本发明还公开了一种蒸镀机。本发明的喷孔截面为倒置梯形，并在喷孔外围设有阻挡块以阻止或限制无效方向的喷出的有机材料沉积，并且改善了阻挡块的内表面的有机材料沉积现象，提高蒸镀材料利用率的同时，避免了喷嘴堵塞情况的发生。

技术领域

本发明涉及有机发光显示器制作技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置及蒸镀机。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出的优点。近年来，OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置。

常用的蒸发源装置中，为控制蒸镀角，避免蒸发气体朝蒸发源上方的非基板区域沉积，在蒸发源腔室的喷嘴周围安装有限制板，然而，有机蒸气从喷嘴喷出呈椭球状，较大比例的材料沉积于限制板上，造成有机蒸镀材料利用率低，并且，随着限制板内壁堆积的有机材料量增多而累积到一定厚度后，存在材料脱落的风险，最终堵塞喷嘴而影响蒸镀机连续运营时间，带来巨大的经济损失。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种蒸发源装置及蒸镀机，可以提高蒸镀材料利用率的同时，避免喷嘴堵塞情况的发生。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种蒸发源装置，包括第一容器、设于所述第一容器内用于容纳并加热有机材料的第二容器以及设于所述第一容器外的阻挡块，所述第一容器顶部、所述第二容器顶部分别设有喷嘴和蒸气孔，所述阻挡块设于所述喷嘴的喷孔周围，且所述喷孔截面为倒置梯形。

作为其中一种实施方式，所述喷孔外围还设有对所述喷孔内壁加热的环形的辅助加热源。

作为其中另一种实施方式，所述喷孔为圆台形或棱台形。

作为其中一种实施方式，所述阻挡块包括相对设置的条状的第一阻挡块和第二阻挡块，所述第一阻挡块和所述第二阻挡块分别设于所述喷嘴的两侧。

作为其中一种实施方式，所述喷嘴为条形，所述喷孔为多个，所有的所述喷孔开设在所述喷嘴上。

作为其中一种实施方式，所述喷孔为多个，线性分布在所述第一容器的顶部；所述第一阻挡块和所述第二阻挡块分别位于线性分布的所述喷孔的两侧。

作为其中一种实施方式，所述喷孔为多个，呈多行排列在所述第一容器的顶部；所述第一阻挡块和所述第二阻挡块的延伸方向平行于每行所述喷孔的排列方向，且所述第一阻挡块和所述第二阻挡块分别位于多行所述喷孔的两侧。

作为其中一种实施方式，所述阻挡块包括设置在所述第一阻挡块和所述第二阻挡块之间的第三阻挡块，所述第三阻挡块设于相邻的两行所述喷孔之间。

作为其中一种实施方式，所述第三阻挡块上分别朝向相邻的两行所述喷孔的面为斜面。

本发明的另一目的在于提供一种蒸镀机，包括一种所述的蒸发源装置。

本发明的喷孔截面为倒置梯形，并在喷孔外围设有阻挡块以阻止或限制无效方向的喷出的有机材料沉积，并且改善了阻挡块的内表面的有机材料沉积现象，提高蒸镀材料利用率的同时，避免了喷嘴堵塞情况的发生。

附图说明