[发明专利]蒸发源装置及蒸镀机

权利要求书

1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括内部真空的第一容器(10)、设于所述第一容器(10)内用于容纳并加热有机材料的第二容器(20)以及设于所述第一容器(10)外的阻挡块(30)，所述第一容器(10)顶部、所述第二容器(20)顶部分别设有喷嘴(100)和蒸气孔(200)，所述喷嘴(100)为条形，顶部形成有多行线性排列的喷孔(100a)，所述阻挡块(30)设于所述喷嘴(100)上方、且位于喷孔(100a)周围，且所述喷孔(100a)截面为倒置梯形；所述阻挡块(30)包括相对设置的条状的第一阻挡块(31)和第二阻挡块(32)、设置在所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)之间的第三阻挡块(33)；所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)的延伸方向平行于每行所述喷孔(100a)的排列方向，且所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)分别位于多行所述喷孔(100a)的两侧；所述第三阻挡块(33)设于相邻的两行所述喷孔(100a)之间，所述第三阻挡块(33)上分别朝向相邻的两行所述喷孔(100a)的面为斜面。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷孔(100a)外围还设有对所述喷孔(100a)内壁加热的环形的辅助加热源(40)。

3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷孔(100a)为圆台形或棱台形。

4.根据权利要求1-3任一所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷嘴(100)为条形，所述喷孔(100a)为多个，所有的所述喷孔(100a)开设在所述喷嘴(100)上。

5.根据权利要求1-3任一所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷孔(100a)为多个，线性分布在所述第一容器(10)的顶部；所述第一阻挡块(31)和所述第二阻挡块(32)分别位于线性分布的所述喷孔(100a)的两侧。

6.一种蒸镀机，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的蒸发源装置。