[发明专利]薄膜晶体管及制备方法、显示基板、显示装置有效
| 申请号： | 201710631018.5 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107464849B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 詹裕程;刘建宏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了薄膜晶体管及制备方法、显示基板、显示装置。该薄膜晶体管包括：基板；有源层，所述有源层设置在所述基板上；栅极以及栅绝缘层，所述栅绝缘层设置在所述栅极以及所述有源层之间，所述栅极在所述有源层上的投影与所述有源层的沟道区的至少一部分重合；层间绝缘层，所述层间绝缘层设置在所述有源层远离所述基板的一侧，所述层间绝缘层包括有机透明材料；以及源极以及漏极，所述源极以及所述漏极设置在所述层间绝缘层远离所述栅绝缘层的一侧，并通过过孔与所述有源层相连。由此，该薄膜晶体管具有以下优点的至少之一：可以减少层间绝缘层的膜质应力，改善玻璃翘曲现象；降低源漏极与栅极的电容耦合效应；有效提升透光率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制备 方法 显示 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：基板；有源层，所述有源层设置在所述基板上；栅极以及栅绝缘层，所述栅绝缘层设置在所述栅极以及所述有源层之间，所述栅极在所述有源层上的投影与所述有源层的沟道区的至少一部分重合；层间绝缘层，所述层间绝缘层设置在所述有源层远离所述基板的一侧，所述层间绝缘层包括有机透明材料；以及源极以及漏极，所述源极以及所述漏极设置在所述层间绝缘层远离所述栅绝缘层的一侧，并通过过孔与所述有源层相连。
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