[发明专利]承载装置及具有该承载装置的曝光设备在审
| 申请号： | 201710627974.6 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107272351A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 魏德萌 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,武岑飞 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种承载装置，其包括承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。本发明还提供了一种具有该承载装置的曝光设备。本发明可以使基板与承载板之间的真空被均匀且彻底地破除，从而避免破真空时破片现象的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 具有 曝光 设备 | ||
【主权项】：
一种承载装置，其特征在于，包括：承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。
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