[发明专利]承载装置及具有该承载装置的曝光设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种承载装置及具有该承载装置的曝光设备。

背景技术

在现有的曝光设备、烘烤设备等具有承载装置的设备中，承载装置破片一直影响着设备的稼动率(稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，或者是指一台设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值)，从而对各生产商造成了很大地困扰。

究其承载装置的易破片的原因，其中对承载装置承载的基板破真空不完全是最主要的原因。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够在破真空时避免破片的承载装置及具有该承载装置的曝光设备。

根据本发明的一方面，提供了一种承载装置，其包括：承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。

进一步地，所述多个通气管用于同时输送气体或抽取气体，且所述多个通气管彼此独立地用于输送气体或者抽取气体。

进一步地，所述承载装置还包括：与所述区部相应的多个连接管，所述多个连接管与所述区部对应的所述通气管连通，所述连接管与所述区部的所述气通孔一一对应。

进一步地，所述多个区部包括：第一区部；包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；分别设置于所述第三区部的相对两侧的第四区部；以及分别设置于所述第三区部的另外相对两侧的第五区部。

进一步地，所述多个区部包括：第一区部；包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；包围所述第三区部且位于所述第三区部以外的第四区部；以及包围所述第四区部且位于所述第四区部以外的第五区部。

进一步地，所述第一区部对应的支撑针的高度、所述第二区部对应的支撑针的高度、所述第三区部对应的支撑针的高度、所述第四区部对应的支撑针的高度及所述第五区部对应的支撑针的高度依次增大。

进一步地，当上升顶起承载的基板时，所述第五区部对应的支撑针、所述第四区部对应的支撑针、所述第三区部对应的支撑针、所述第二区部对应的支撑针的高度以及所述第一区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

根据本发明的另一方面，还提供了一种承载装置，其包括：承载板以及多个支撑针，所述承载板包括N个区部，第i个区部包括第i-1个区部且位于第i-1个区部以外，每个区部具有多个针通孔和多个气通孔，每个针通孔对应一个支撑针，所述第1个区部对应的支撑针的高度至所述第N个区部对应的支撑针的高度依次增大，其中，2≤i≤N。

进一步地，当上升顶起承载的基板时，所述第N个区部对应的支撑针至所述第1个区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

根据本发明的又一方面，又提供了一种曝光设备，其包括上述的承载装置。

本发明的有益效果：本发明的承载装置可以使基板与承载板之间的真空彻底被破除，从而避免破真空时破片现象的出现。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图；

图2是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的侧视示意图；

图3是根据本发明的第二实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

在附图中，为了清楚器件，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。

图1是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图。图2是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的侧视示意图。

参照图1和图2，根据本发明的第一实施例的承载装置包括：承载板100、多个支撑针200以及多个通气管300。