[发明专利]承载装置及具有该承载装置的曝光设备

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，包括：承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述多个通气管用于同时输送气体或抽取气体，且所述多个通气管彼此独立地用于输送气体或者抽取气体。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括：与所述区部相应的多个连接管，所述多个连接管与所述区部对应的所述通气管连通，所述连接管与所述区部的所述气通孔一一对应。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述多个区部包括：

第一区部；

包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；

包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；

分别设置于所述第三区部的相对两侧的第四区部；以及

分别设置于所述第三区部的另外相对两侧的第五区部。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述多个区部包括：

第一区部；

包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；

包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；

包围所述第三区部且位于所述第三区部以外的第四区部；以及

包围所述第四区部且位于所述第四区部以外的第五区部。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述第一区部对应的支撑针的高度、所述第二区部对应的支撑针的高度、所述第三区部对应的支撑针的高度、所述第四区部对应的支撑针的高度及所述第五区部对应的支撑针的高度依次增大。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，当上升顶起承载的基板时，所述第五区部对应的支撑针、所述第四区部对应的支撑针、所述第三区部对应的支撑针、所述第二区部对应的支撑针的高度以及所述第一区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

8.一种承载装置，其特征在于，包括：承载板以及多个支撑针，所述承载板包括N个区部，第i个区部包括第i-1个区部且位于第i-1个区部以外，每个区部具有多个针通孔和多个气通孔，每个针通孔对应一个支撑针，所述第1个区部对应的支撑针的高度至所述第N个区部对应的支撑针的高度依次增大，其中，2≤i≤N。

9.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，当上升顶起承载的基板时，所述第N个区部对应的支撑针至所述第1个区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

10.一种曝光设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的承载装置。