[发明专利]一种MEMS三轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201710606894.2 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107192384B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郭梅寒 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种MEMS三轴陀螺仪，包括由内到外依次布置的中央锚点、第一子质量块、第一解耦结构、第二子质量块和第三子质量块。当第一子质量块在绕第三方向的驱动模态下发生谐振时，其运动方向近似于沿第一方向运动，当第一子质量块受到绕第二方向的角速度时，会产生沿第三方向的科氏力，在科氏力作用下第一子质量块会产生绕第一方向的位移，由于第一解耦结构的轴也在第一方向上，因此，第一子质量块在第一方向的检测模态下仅有很小的一部分力传递到第一解耦结构上，而第一解耦结构传递给第二子质量块的力也会很小，减少了第一子质量块和第二子质量块之间的运动干扰，从而减少了MEMS三轴陀螺仪的轴间信号串扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种MEMS三轴陀螺仪，包括由内到外依次布置的中央锚点、第一子质量块、第二子质量块和第三子质量块，其中，在驱动模态下，所述MEMS三轴陀螺仪绕第三方向谐振；在检测模态下，所述第一子质量块可绕第一方向谐振，所述第二子质量块可绕第二方向谐振，所述第三子质量块可沿第一方向或第二方向谐振；所述第一方向，所述第二方向和所述第三方向相互垂直；其特征在于，所述第一子质量块和所述第二子质量块之间设置有第一解耦结构，所述第一解耦结构沿第一方向对称的连接在所述第一子质量块上，所述第一解耦结构沿第二方向对称的连接在所述第二子质量块上。
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