[发明专利]测量系统有效
| 申请号： | 201710605527.0 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107664753B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | J·弗兰克;T·考夫曼 | 申请（专利权）人： | TDK-迈克纳斯有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07;G01R33/00;G01D5/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 韩长永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于沿着z方向确定探测器的位置的测量系统具有：半导体本体，其具有上表面、下表面、至少一个连接触点和至少一个在z方向上敏感的磁场传感器；载体，其具有正面、背面和导电区域；用于产生磁场的磁体，其具有沿着第一面形成的第一磁极和垂直于第一面延伸的对称轴线，其中，在半导体本体的至少一个连接触点与载体的至少一个印制导线之间存在电作用连接，磁体的第一面平行于z方向布置，并且磁体的对称轴线垂直于z方向布置，探测器具有朝向磁场传感器的端面，该端面能够平行于z方向朝向磁场传感器的方向运动至少直至测量高度，磁场传感器相对于磁体的第一面具有第一间距并且相对于测量高度具有第二间距，并且第一间距是第二间距的60％和110％之间。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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