[发明专利]具有至少一个第一类型的电极、第二类型的电极和至少一个铁电驻极体的转换器有效

专利信息
申请号: 201710584936.7 申请日: 2013-10-07
公开(公告)号: CN107275473B 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: D·巴尔特伊拉;J·希伦布兰德 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: H01L41/09 分类号: H01L41/09;H01L41/113;H04R19/01;H01L41/193
代理公司: 72002 永新专利商标代理有限公司 代理人: 曾立
地址: 德国斯*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种转换器(1),其具有第一类型的电极(2)、至少一个第二类型的电极(3)、至少一个铁电驻极体(6)和至少一个驻极体(4),其中,所述铁电驻极体(6)与所述第二类型的电极(3)借助绝缘层(32)绝缘地布置并且与第三电极(30)具有共同的边界面(31),使得所述驻极体(4)和所述铁电驻极体(6)彼此串联地连接。具有这种转换器(1)的超声传感器和麦克风也是本发明的主题。
搜索关键词: 具有 至少 一个 第一 类型 电极 第二 铁电驻极体 转换器
【主权项】:
1.一种转换器(1),其具有第一类型的电极(2)、至少一个第二类型的电极(3)、至少一个铁电驻极体(6)和至少一个驻极体(4),其中,所述驻极体(4)作为薄片在一侧布置在第二类型的电极(3)的表面上并且在另一侧通过气隙(5)与第一类型的电极(2)间隔开,其中,所述铁电驻极体(6)与所述第二类型的电极(3)借助绝缘层(32)绝缘地布置并且与第三电极(30)具有共同的边界面(31),及其中,所述铁电驻极体(6)通过第一边界面(13)与第一类型的电极(2)连接并且一电压源(8)与所述第二类型的电极(3)连接及与所述第三电极(30)连接,使得所述驻极体(4)和所述铁电驻极体(6)彼此串联地连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司,未经罗伯特·博世有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710584936.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种采用阵列孔引出电极的高温声表面波器件芯片-201921045150.9
  • 牟笑静;曹健;潘红芝;齐梦珂 - 重庆大学
  • 2019-07-05 - 2019-12-13 - H01L41/09
  • 本实用新型涉及一种采用阵列孔引出电极的高温声表面波器件芯片及其制作方法,通过在底电极与顶部金属之间设置通道Ⅰ、上电极与顶部金属之间设置通道Ⅱ,利用阵列孔的数量优势将风险分摊,大大提高了器件芯片的电气可靠性;此外,阵列孔采用圆孔设计,解决了方孔产生的光刻胶去除不干净的问题;通道Ⅰ中采用阶梯孔设计将压电薄膜与孔侧壁上沉积的金属隔离,规避上电极与孔侧壁上的金属之间产生的电场;SiC作衬底材料增加了耐高温性能,Cu作上电极材料有效降低器件的插入损耗,在刻蚀压电薄膜时,形成底电极窗口的同时将晶圆上的各个芯片进行物理或化学分离,防止在划片时因机械力过大造成的压电薄膜损坏情况的发生。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top