[发明专利]一种化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201710569719.0 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109251672B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李守田;尹先升;贾长征;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械抛光液，包括溶胶型氧化铈、以及聚季铵盐。本发明采用溶胶型氧化铈作为研磨颗粒，同时添加聚季铵盐作为添加剂，在聚季铵盐作用下，实现抑制氮化硅的抛光速率、提高二氧化硅的抛光速率，同时控制蝶形凹陷的产生的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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