[发明专利]一种化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201710569719.0 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109251672B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李守田;尹先升;贾长征;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光液，其特征在于，包括溶胶型氧化铈和苯甲酸类化合物；
所述苯甲酸类化合物为4-羟基苯甲酸，所述4-羟基苯甲酸的含量为200-600ppm；
还含有聚季铵盐，所述聚季铵盐为聚季铵盐-37，所述聚季铵盐-37的含量为30-60ppm；
所述溶胶型氧化铈的含量为0.1-1.0wt％。
2.如权利要求1任一所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液还含有低聚糖分子。
3.如权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述低聚糖分子选自葡聚糖和/或β-环糊精。
4.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液的pH为4.0-5.0。
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