[发明专利]一种用于聚焦离子束机台提取样品的方法有效
| 申请号： | 201710567411.2 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107356460B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 韩俊伟;顾晓芳;陈宏璘;龙吟;倪棋梁 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于聚焦离子束机台提取样品的方法，包括下列步骤：提供欧姆尼探针；使用沉积钨将样品薄片粘连到欧姆尼探针上；通过欧姆尼探针将样品转移到样品载体上；通过聚焦离子束切断的方法将样品和欧姆尼探针分离；在后续制样时，通过第一次残留样品与本次样品进行连接；通过聚焦离子束切断的方法将本次样品和第一次残留样品进行切断。本发明提出的用于聚焦离子束机台提取样品的方法，利用样品和样品之间的连接和切断来提取新的样品，从而避免欧姆尼探针的损耗并延长欧姆尼探针的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 聚焦 离子束 机台 提取 样品 方法 | ||
【主权项】：
一种用于聚焦离子束机台提取样品的方法，其特征在于，包括下列步骤：提供欧姆尼探针；使用沉积钨将样品薄片粘连到欧姆尼探针上；通过欧姆尼探针将样品转移到样品载体上；通过聚焦离子束切断的方法将样品和欧姆尼探针分离；在后续制样时，通过第一次残留样品与本次样品进行连接；通过聚焦离子束切断的方法将本次样品和第一次残留样品进行切断。
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