[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201710566441.1 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107328402B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郑青龙 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/42 | 分类号： | G01C19/42 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括：基板；设置在基板上的可动部件，可动部件包括检测质量块以及多个驱动质量块；设置在基板上的固定锚点，固定锚点位于检测质量块与基板之间，且与检测质量块可动连接；设置在基板上的多个固定电极；多个固定电极分为第一电极组以及第二电极组；第一电极组中，固定电极位于基板表面，对称的设置在固定锚点的四周，且位于基板与检测质量块之间；第二电极组中，固定电极对称的设置在固定锚点的四周，且在初始状态下与可动部件同层设置；当进行角速度检测时，固定电极用于检测固定电极相与可动部件之间的电容变化，基于检测结果获取角速度信息。该MEMS陀螺仪结构简单，且需要的驱动电路结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：基板；设置在所述基板上的可动部件，所述可动部件包括检测质量块以及多个驱动质量块；所述驱动质量块与所述检测质量块可动连接，且对称的设置在所述检测质量块四周；设置在所述基板上的固定锚点，所述固定锚点位于所述检测质量块与所述基板之间，且与所述检测质量块可动连接；设置在所述基板上的多个固定电极；所述多个固定电极分为第一电极组以及第二电极组，所述第一电极组以及所述第二电极组均具有多个所述固定电极；所述第一电极组中，所述固定电极位于所述基板表面，对称的设置在固定锚点的四周，且位于所述基板与所述检测质量块之间；所述第二电极组中，所述固定电极对称的设置在所述固定锚点的四周，且在初始状态下与所述可动部件同层设置；其中，当进行角速度检测时，所述固定电极用于检测所述固定电极相与所述可动部件之间的电容变化，基于检测结果获取角速度信息；所述初始状态下，输入所述可动部件的角速度为零。
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