[发明专利]一种高密度HDI多层线路板的通孔沉铜装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种高密度HDI多层线路板的通孔沉铜装置，属于单纤维测量装置领域，通过泵体往所述沉铜柜内注入气体，形成高压，使电镀液进入通孔内，并缓慢流动，不断有新的电镀液进入所述通孔，同时将旧的电镀液排除，从而保障所述通孔镀铜的均匀性，保障多层线路板的电气连接稳定性。

主权项

一种高密度HDI多层线路板的通孔沉铜装置，包括沉铜柜(100)及储液柜(200)，所述沉铜柜(100)沿内壁面设置有至少一个环形支撑件(130)，所述环形支撑件(130)水平，所述沉铜柜(100)的侧壁包括固定部(110)及与所述固定部(110)枢接的枢接部(120)，所述环形支撑件(130)部分位于所述枢接部(120)内壁上，所述枢接部(120)具有敞开位置、第一密封位置以及第二密封位置，当所述枢接部(120)处于敞开位置时，所述枢接部(120)与所述固定部(110)仅枢接位置接触，所述环形支撑件(130)裸露，当所述枢接部(120)处于第一密封位置时，所述枢接部(120)与所述固定部(110)密封，所述环形支撑件(130)断开，当所述枢接部(120)处于第二密封位置时，所述枢接部(120)与所述固定部(110)密封，所述环形支撑件(130)连续；所述沉铜柜(100)顶部与所述储液柜(200)顶部通过第一管道相通(140)，所述第一管道上设置有泵体(141)、且所述第一管道延伸进入所述储液柜(200)底部，所述第一管道在所述泵体(141)与所述储液柜(200)之间设置有第一电动阀(142)，所述第一管道在所述泵体(141)与所述第一电动阀(142)之间连通有进气管(150)，所述进气管(150)上设置有第二电动阀(151)；所述沉铜柜(100)底部与所述储液柜(200)底部通过第二管道相通(160)，所述第二管道上设置有第三电动阀(161)，所述泵体(141)、所述第一电动阀(142)、所述第二电动阀(151)及所述第三电动阀(161)均与控制器(400)电联接。