[发明专利]基板处理装置和处理杯清洗方法

摘要

一种基板处理装置，具有：筒状的挡板，其接住从旋转夹具向外侧飞散的液体；环状的杯，其用接液槽接住被挡板向下方引导的液体；挡板升降单元，其使挡板沿上下方向移动；清洗液供给单元，其将从冲洗液喷嘴喷出的纯水经由旋转夹具和挡板向接液槽供给；清洗液排出单元，其排出接液槽内的纯水；控制装置，其通过控制清洗液供给单元和清洗液排出单元，来在接液槽中积存纯水，通过控制挡板升降单元，来使筒状部的下端部浸渍于接液槽内的纯水中。

主权项

一种基板处理装置，其中，具有：基板保持单元，一边将基板保持为呈水平，一边使所述基板绕通过所述基板的中央部的铅直的旋转轴线旋转；药液喷嘴，向被所述基板保持单元保持的所述基板喷出药液；筒状的挡板，包括包围被所述基板保持单元保持的所述基板的筒状部，该挡板接住从所述基板保持单元向外侧飞散的液体；环状的杯，形成有位于所述筒状部的下方的环状的接液槽，该杯用所述接液槽接住被所述挡板向下方引导的液体；挡板升降单元，使所述挡板沿上下方向移动；清洗液供给单元，包括将与药液不同的清洗液从配置于被所述基板保持单元保持的基板的上方或下方的喷出口喷出的第一清洗液喷嘴，该清洗液供给单元将从所述第一清洗液喷嘴喷出的清洗液经由所述基板保持单元和所述挡板向所述接液槽供给；清洗液排出单元，将所述接液槽内的清洗液经由设置于所述接液槽内的排液口排出；液量控制单元，通过控制所述清洗液供给单元和清洗液排出单元，来将清洗液积存于所述接液槽；以及挡板位置控制单元，通过控制所述挡板升降单元，来将所述筒状部的下端部浸渍于所述接液槽内的清洗液中。