[发明专利]光电转换设备、成像系统、及光电转换设备的制造方法有效
| 申请号： | 201710544402.1 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107591418B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 碓井崇;鸟居庆大;大贯裕介;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/14 | 分类号： | H01L27/14;H01L27/144;H01L27/146 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 周博俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光电转换设备、成像系统、及光电转换设备的制造方法，该光电转换设备包括设置在光电转换单元上方的波导构件，以及设置在基板上方并且包围波导构件的至少一部分的绝缘构件。波导构件具有从基板依次布置的第一侧面、第二侧面和第三侧面。第一侧面的倾斜角小于第二侧面的倾斜角。第三侧面的倾斜角小于第二侧面的倾斜角。第二侧面的倾斜角小于90度。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 转换 设备 成像 系统 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光电转换设备，其特征在于，包括：光电转换单元，被设置在基板中；波导构件，被设置在光电转换单元的上方；以及绝缘构件，被设置在基板的上方，并且包围波导构件的至少一部分，其中波导构件具有从基板按以下顺序布置的第一侧面、第二侧面和第三侧面，其中第二侧面的倾斜角小于90度，其中第一侧面的倾斜角小于第二侧面的倾斜角，以及其中第三侧面的倾斜角小于第二侧面的倾斜角。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
