[发明专利]蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法

摘要

一种蒸镀设备，包括主腔体、与主腔体连接的抽真空装置、控制装置及至少一个蒸发位，还包括至少一个储备腔体、能够受控制装置控制而吊装/夹持坩埚并使坩埚在蒸发位与储备腔体之间进行转移的坩埚更换装置，储备腔体通过第一通孔与主腔体的内部空间连通，第一通孔处设有能够受控制装置控制而移位以使第一通孔改变通闭状态的隔离密封件，蒸发位位于主腔体的底部内侧并设有加热装置；坩埚更换装置包括伸缩升降式旋转吊装机构，伸缩升降式旋转吊装机构与主腔体的底面连接且处于主腔体的内部空间内，其中包括多个储备腔体，增加了备用坩埚的数量，降低了破主腔体真空环境的次数，并同时降低了该操作给主腔体带来的水氧污染，提高了OLED生产制作的效率。

主权项

1.一种蒸镀设备，包括主腔体、与所述主腔体连接的抽真空装置、控制装置及至少一个蒸发位，其特征在于，还包括至少一个储备腔体、能够受所述控制装置控制而吊装/夹持坩埚并使所述坩埚在所述蒸发位与储备腔体之间进行转移的坩埚更换装置，所述储备腔体通过第一通孔与所述主腔体的内部空间连通，所述第一通孔处设有能够受所述控制装置控制而移位以使所述第一通孔改变通闭状态的隔离密封件，所述蒸发位位于所述主腔体的底部内侧并设有加热装置；所述坩埚更换装置包括伸缩升降式旋转吊装机构，所述伸缩升降式旋转吊装机构与所述主腔体的底面连接且处于所述主腔体的内部空间内。