[发明专利]蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀设备，包括主腔体、与所述主腔体连接的抽真空装置、控制装置及至少一个蒸发位，其特征在于，还包括至少一个储备腔体、能够受所述控制装置控制而吊装/夹持坩埚并使所述坩埚在所述蒸发位与储备腔体之间进行转移的坩埚更换装置，所述储备腔体通过第一通孔与所述主腔体的内部空间连通，所述第一通孔处设有能够受所述控制装置控制而移位以使所述第一通孔改变通闭状态的隔离密封件，所述蒸发位位于所述主腔体的底部内侧并设有加热装置；所述坩埚更换装置包括伸缩升降式旋转吊装机构，所述伸缩升降式旋转吊装机构与所述主腔体的底面连接且处于所述主腔体的内部空间内。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述储备腔体开设有一开口及与所述开口相对应的开关门，所述开口及所述开关门位于所述主腔体内部空间外，所述储备腔体与所述抽真空装置连接。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述伸缩升降式旋转吊装机构包括第一端和第二端，所述第一端与所述主腔体的底面连接且处于所述主腔体的内部空间内，所述第二端设有电磁铁/夹持装置，用于吊装/夹持坩埚实现坩埚位置的转移。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述主腔体为圆柱形且包括多个所述蒸发位，所述蒸发位沿所述主腔体底部内侧底面下沉并围绕所述主腔体轴心线均匀分布，形成多个蒸发腔体，多个所述储备腔体围绕所述主腔体轴心线均匀分布且所述储备腔体顶面与所述主腔体底面连接，且在连接处设有所述第一通孔，使所述储备腔体与所述主腔体的内部空间连通。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口及所述开关门位于所述储备腔体侧壁，多个所述储备腔体形成的环位于多个所述蒸发位形成的环内。

6.一种坩埚，所述坩埚与权利要求1～5任意一项所述的蒸镀设备相配合，其特征在于，所述坩埚设有被所述坩埚更换装置吊装/夹持的吊装固定件。

7.根据权利要求6所述的坩埚，其特征在于，所述吊装固定件为磁性金属环，所述坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体顶部设有一开口，所述磁性金属环一端内嵌在所述坩埚本体顶部，并与所述坩埚本体过盈配合连接或者粘接；

和/或所述吊装固定件为与所述坩埚本体一体成型的并设在所述坩埚本体外周的环状限位槽。

8.一种蒸镀方法，其特征在于，包括任意一项权利要求1-5所述蒸镀设备和任意一项权利要求6-7所述坩埚，所述蒸镀方法包括：

转移步骤：所述坩埚内材料耗尽时，所述控制装置驱动所述坩埚更换装置，将蒸镀过的所述坩埚转移至所述储备腔体内，并从所述储备腔体内取出一备用的所述坩埚，将备用的所述坩埚转移至所述蒸发位。

9.根据权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，所述储备腔体开设有开口及与所述开口相对应的开关门，所述转移步骤之后，还包括：

更换步骤：所述控制装置控制所述隔离密封件关闭所述第一通孔，对所述储备腔体充气，打开所述储备腔体的所述开关门，取出蒸镀过的所述坩埚，将备用的所述坩埚放回所述储备腔体内，关闭所述开关门，对所述储备腔体抽真空至预设真空度。

10.根据权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，所述坩埚更换装置包括所述伸缩升降式旋转吊装机构，所述伸缩升降式旋转吊装机构包括第一端和设有吊装固定件的第二端，所述吊装固定件为电磁铁/夹持装置，所述坩埚顶部设有磁性金属环和/或所述坩埚外周设有环状限位槽，所述转移步骤之中，还包括：

位置调整步骤：所述控制装置控制所述伸缩升降式旋转吊装机构，使所述第二端旋转至放置在所述蒸发位上且已经被蒸镀过的所述坩埚的角度，所述控制装置控制第二端至蒸镀过的所述坩埚的上方；

吊装/夹持步骤：所述控制装置控制所述第二端的所述电磁铁与所述磁性金属环接触，开启电磁铁吸住蒸镀过的所述坩埚；或者所述控制装置控制所述第二端的所述夹持装置到预设高度，所述夹持装置夹住蒸镀过的所述坩埚；

放置步骤：所述控制装置控制所述隔离密封件使所述第一通孔处于开启的状态，将蒸镀过的所述坩埚放置在所述储备腔体内，并从所述储备腔体中取出一备用的所述坩埚转移至所述蒸发位。