[发明专利]蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法

说明书

一种蒸镀设备，包括主腔体、与主腔体连接的抽真空装置、控制装置及至少一个蒸发位，还包括至少一个储备腔体、能够受控制装置控制而吊装/夹持坩埚并使坩埚在蒸发位与储备腔体之间进行转移的坩埚更换装置，储备腔体通过第一通孔与主腔体的内部空间连通，第一通孔处设有能够受控制装置控制而移位以使第一通孔改变通闭状态的隔离密封件，蒸发位位于主腔体的底部内侧并设有加热装置；坩埚更换装置包括伸缩升降式旋转吊装机构，伸缩升降式旋转吊装机构与主腔体的底面连接且处于主腔体的内部空间内，其中包括多个储备腔体，增加了备用坩埚的数量，降低了破主腔体真空环境的次数，并同时降低了该操作给主腔体带来的水氧污染，提高了OLED生产制作的效率。

技术领域

本发明涉及显示器制造领域，尤其涉及一种蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法。

背景技术

在平板显示器中，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点，被认为是下一代显示技术，并以其色彩鲜艳、功耗低、产品薄等诸多优点在市场上受到了广大消费者的喜爱。目前实现OLED器件量产的方法主要为蒸镀方法，由于OLED器件对水氧十分敏感，因此在制作OLED显示器时，需要在高真空条件下进行，并利用电阻丝对放置在专用坩埚内的源材料进行加热，源材料蒸发出来在基板上形成薄膜，通过精细金属掩膜板实现薄膜的图案化，因此OLED显示器中蒸镀是必不可少的制程。

现有技术的蒸镀设备中，坩埚填料量有限，在蒸镀过程每次材料用尽后都需要破真空，打开真空腔室重新添加材料，既耽误了OLED显示器的制作时间，同时不能很好的保证蒸镀腔室内的低水氧环境，从而容易产生污染，因此有必要对用于OLED显示器制作的蒸镀设备进行改进，以达到降低蒸镀制作过程污染的问题。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法，其解决了蒸镀过程中因单个坩埚填料量有限，而需频繁破蒸镀腔室真空环境进行坩埚更换或添加源材料，进而耽误制作时间的问题，以及频繁破蒸镀腔室真空环境带来的水氧污染问题。

为了实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

本发明提供的一种蒸镀设备，包括主腔体、与所述主腔体连接的抽真空装置、控制装置及至少一个蒸发位，还包括至少一个储备腔体、能够受所述控制装置控制而吊装/夹持坩埚并使所述坩埚在所述蒸发位与储备腔体之间进行转移的坩埚更换装置，所述储备腔体通过第一通孔与所述主腔体的内部空间连通，所述第一通孔处设有能够受所述控制装置控制而移位以使所述第一通孔改变通闭状态的隔离密封件，所述蒸发位位于所述主腔体的底部内侧并设有加热装置；所述坩埚更换装置包括伸缩升降式旋转吊装机构，所述伸缩升降式旋转吊装机构与所述主腔体的底面连接且处于所述主腔体的内部空间内。

进一步地，所述储备腔体开设有一开口及与所述开口相对应的开关门，所述开口及所述开关门位于所述主腔体内部空间外，所述储备腔体与所述抽真空装置连接。

进一步地，所述伸缩升降式旋转吊装机构包括第一端和第二端，所述第一端与所述主腔体的底面连接且处于所述主腔体的内部空间内，所述第二端设有电磁铁/夹持装置，用于吊装/夹持坩埚实现坩埚位置的转移。

进一步地，所述主腔体为圆柱形且包括多个所述蒸发位，所述蒸发位沿所述主腔体底部内侧底面下沉并围绕所述主腔体轴心线均匀分布，形成多个蒸发腔体，多个所述储备腔体围绕所述主腔体轴心线均匀分布且所述储备腔体顶面与所述主腔体底面连接，且在连接处设有所述第一通孔，使所述储备腔体与所述主腔体的内部空间连通。

优选地，所述开口及所述开关门位于所述储备腔体侧壁，多个所述储备腔体形成的环位于多个所述蒸发位形成的环内。

本发明还提供了一种坩埚，所述坩埚与上述任意一项所述的蒸镀设备相配合，所述坩埚设有被所述坩埚更换装置吊装/夹持的吊装固定件。