[发明专利]一种相移干涉测量系统及其波片相移方法有效
| 申请号： | 201710533969.9 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107462149B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘胜德;李娇声;吕晓旭;钟丽云 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/30;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州容大专利代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学干涉测量及数字全息测量技术领域，提供一种相移干涉测量系统及其波片相移方法，搭建相移干涉测量系统，包括光源、滤光片、第一二分之一波片、偏振分光元件、第一分束镜、四分之一波片、第二二分之一波片、第一偏振片及第一单色黑白图像传感器，通过固定所述四分之一波片的角度不变，调节所述第二二分之一波片的旋转角度，实现任意相移，不局限于与特定步长的相移算法结合，能与现在的任意相移量的相移算法相结合实现快速、高精度的相移干涉测量；且不需要能够精确进行移动或旋转的驱动装置，系统简洁、操作简便；第二二分之一波片相当于相移器，不需要放置在干涉光路中，因此系统不会受到机械运动的影响，系统稳定性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相移 干涉 测量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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