[发明专利]一种掩膜条的接合方法、接合装置、掩膜版有效
| 申请号： | 201710526264.4 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107201498B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 林治明;李宝军;王震;黄俊杰;唐富强 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜条的接合方法、接合装置、掩膜版，属于显示技术领域，其可解决现有的由掩膜条焊接成的整张掩膜版对位过程耗时长、对位精度低的问题。本发明中将对位后框架的位置偏差作为第一补偿数据补偿至了像素坐标基准，因此掩膜条框架的实际位置与目标位置的差异可以设置为较大范围，这样可以在较短时间内，使得本级掩膜条框架落入对位精度的阈值范围，大大降低对位时间，避免进入死循环，提高生产效率的同时不影响掩膜版多个掩膜条的固接精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜条 对位 掩膜版 接合装置 接合 补偿数据 对位过程 目标位置 生产效率 实际位置 位置偏差 像素坐标 后框架 死循环 固接 掩膜 焊接 耗时 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜条的接合方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对本级掩膜条的框架进行对位，并检测对位后框架的位置偏差以获得第一补偿数据；S2、根据所述第一补偿数据调整本级掩膜条的像素坐标基准；S3、根据所述像素坐标基准将本级掩膜条固接至框架上。
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