[发明专利]一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置在审

专利信息
申请号: 201710524641.0 申请日: 2017-06-30
公开(公告)号: CN109211956A 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 赖运子;赵岳;申绪男;刘帅奇;乔在祥 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十八研究所
主分类号: G01N23/223 分类号: G01N23/223
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 代理人: 李凤
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置,包括:蒸发腔室和真空腔室;真空腔室内设置有水冷板和卷绕机构,蒸发腔室内的卷绕薄膜出来后进入真空腔室内的卷绕机构;其特征在于:真空腔室内安装有对卷绕薄膜进行在线检测的X射线荧光光谱分析装置装置;X射线荧光光谱分析装置装置包括X光源和X光检测器;X光检测器位于X光的反射光路中,反射光路为X光源发出的光束通过卷绕薄膜后的反射光路;X光源通过放大器与接收终端进行数据交互。本发明能够对卷绕薄膜成分进行实时监控,可及时通过对各蒸发源蒸发功率的改变实现对偏离预想值的各组分进行调整,适用于工业化长时间连续制备CIGS吸收层。
搜索关键词: 卷绕 薄膜 反射光路 真空腔 检测器 光谱分析装置 在线测试装置 卷绕机构 连续制备 卷对卷 室内 放大器 光束通过 接收终端 时间连续 实时监控 室内安装 数据交互 在线检测 真空腔室 蒸发功率 蒸发腔室 水冷板 吸收层 蒸发腔 蒸发源 制备 偏离
【主权项】:
1.一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置,包括:蒸发腔室(2)和真空腔室;在所述真空腔室内设置有水冷板和卷绕机构,蒸发腔室(2)内的卷绕薄膜(1)出来后进入真空腔室内的卷绕机构;其特征在于:在所述真空腔室内安装有对卷绕薄膜(1)进行在线检测的X射线荧光光谱分析装置装置;所述X射线荧光光谱分析装置装置包括X光源和X光检测器(8);所述X光检测器(8)位于X光的反射光路中,所述反射光路为X光源发出的光束通过卷绕薄膜(1)后的反射光路;所述X光检测器(8)的输出信号通过放大器与接收终端进行数据交互。
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