[发明专利]一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置在审
| 申请号： | 201710524641.0 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109211956A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 赖运子;赵岳;申绪男;刘帅奇;乔在祥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卷绕 薄膜 反射光路 真空腔 检测器 光谱分析装置 在线测试装置 卷绕机构 连续制备 卷对卷 室内 放大器 光束通过 接收终端 时间连续 实时监控 室内安装 数据交互 在线检测 真空腔室 蒸发功率 蒸发腔室 水冷板 吸收层 蒸发腔 蒸发源 制备 偏离 | ||
1.一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，包括：蒸发腔室(2)和真空腔室；在所述真空腔室内设置有水冷板和卷绕机构，蒸发腔室(2)内的卷绕薄膜(1)出来后进入真空腔室内的卷绕机构；其特征在于：在所述真空腔室内安装有对卷绕薄膜(1)进行在线检测的X射线荧光光谱分析装置装置；所述X射线荧光光谱分析装置装置包括X光源和X光检测器(8)；所述X光检测器(8)位于X光的反射光路中，所述反射光路为X光源发出的光束通过卷绕薄膜(1)后的反射光路；所述X光检测器(8)的输出信号通过放大器与接收终端进行数据交互。
2.根据权利要求1所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：所述X光源和X光检测器封装于不锈钢挡板(9)制成的密封腔室内，在所述密封腔室的外壁开设有X光线通过的光阑；在所述光阑位置安装有有机玻璃窗口(10)。
3.根据权利要求1所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：在所述密封腔室的外壁设置有多针角航空插头(6)；所述放大器的输出信号通过多针角航空插头(6)与接收终端进行数据交互。
4.根据权利要求1-3任一项所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：所述接收终端包括多道脉冲分析器和计算机。
5.根据权利要求4所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：所述水冷板有两个。
6.根据权利要求4所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：所述X光源发生器的出光点与被测点的位置小于1cm。
7.根据权利要求4所述的用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，其特征在于：所述X光源发生器包括高压电源和X光管(7)。
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