[发明专利]一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置

说明书

本发明公开了一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，包括：蒸发腔室和真空腔室；真空腔室内设置有水冷板和卷绕机构，蒸发腔室内的卷绕薄膜出来后进入真空腔室内的卷绕机构；其特征在于：真空腔室内安装有对卷绕薄膜进行在线检测的X射线荧光光谱分析装置装置；X射线荧光光谱分析装置装置包括X光源和X光检测器；X光检测器位于X光的反射光路中，反射光路为X光源发出的光束通过卷绕薄膜后的反射光路；X光源通过放大器与接收终端进行数据交互。本发明能够对卷绕薄膜成分进行实时监控，可及时通过对各蒸发源蒸发功率的改变实现对偏离预想值的各组分进行调整，适用于工业化长时间连续制备CIGS吸收层。

技术领域

本发明涉及太阳电池测试装置领域，特别是涉及一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置。

背景技术

CIGS吸收层中各元素所占比例对电池效率具有显著影响，而适合于制备高效CIGS太阳电池吸收层的元素构成只允许其在小范围内波动。在工业化卷对卷生产CIGS过程中，随着制备时间的延长，各蒸发源物料量减少后各蒸发源蒸发量会随之变化。目前测量在真空腔室中卷对卷制备CIGS组分的方法，一般是在实验结束之后开腔取样再进行测量，这样无法在实验过程中收集实验各组分信息，不能及时对实验条件进行调整，造成物料浪费，降低实验的质量和效率。为了保证产线的成品率和生产效率，需要在实验过程中及时对工艺进行调整，由此，安装在线成分检测设备尤为必要。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置在线XRF装置安装在卷对卷制备CIGS太阳电池吸收层的真空腔室中，当薄膜不断卷绕时，XRF设备可不断测量薄膜卷过处的CIGS各个组分，由此实现成分实时在线监测作用。

本发明为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种用于卷对卷连续制备CIGS的成分在线测试装置，包括：蒸发腔室(2)和真空腔室；在所述真空腔室内设置有水冷板和卷绕机构，蒸发腔室(2)内的卷绕薄膜(1)出来后进入真空腔室内的卷绕机构；在所述真空腔室内安装有对卷绕薄膜(1)进行在线检测的X射线荧光光谱分析装置装置；所述X射线荧光光谱分析装置装置包括X光源和X光检测器(8)；所述X光检测器(8)位于X光的反射光路中，所述反射光路为X光源发出的光束通过卷绕薄膜(1)后的反射光路；所述X光检测器(8)的输出信号通过放大器与接收终端进行数据交互。

作为优选，本发明还采用了如下的技术方案：

进一步：所述X光源发生器和X光检测器封装于不锈钢挡板(9)制成的密封腔室内，在所述密封腔的外壁开设有X光线通过的光阑；在所述光阑位置安装有有机玻璃窗口(10)。

进一步：在所述密封腔的外壁设置有多针角航空插头(6)；所述放大器的输出信号通过多针角航空插头(6)与接收终端进行数据交互。

更进一步：所述接收终端包括多道脉冲分析器和计算机。

更进一步：所述水冷板有两个。

更进一步：所述X光源发生器的出光点与被测点的位置小于1cm。

更进一步：所述X光源发生器包括高压电源和X光管(7)。

本发明具有的优点和积极效果是：

通过采用上述技术方案，本发明能够对卷绕薄膜成分进行实时监控，可及时通过对各蒸发源蒸发功率的改变实现对偏离预想值的各组分进行调整，适用于工业化长时间连续制备CIGS吸收层。同时，运用不锈钢挡板和有机玻璃等材料，可集成在蒸发腔室中，节约空间，且不影响腔室真空度。

附图说明

图1是本发明优选实施例的结构图；

图2是本发明优选实施例中X射线荧光光谱分析装置的结构图；