[发明专利]一种多工位检测机械手真空状态的装置

摘要

本发明属于半导体制程设备技术领域，具体地说是一种多工位检测机械手真空状态的装置。包括压紧机构、真空管路、锁紧机构、导柱、支撑架及底板，其中底板上设有两个导柱，多个依次弹性连接的压紧机构与两个导柱滑动配合，各压紧机构分别与一真空管路连接，多个压紧机构的一侧或两侧设有与底板连接的支撑架，支撑架上设有锁紧机构，锁紧机构用于锁紧位于最上方的压紧机构，相邻两个压紧机构之间的空间为检测机械手的测量工位。本发明具有多个测量工位，可有效的对机械手的真空状态进行反复的检测和试验，大大提高了机械手在工作过程中的稳定性和可靠性，降低了不良品被装入设备的风险。

主权项

1.一种多工位检测机械手真空状态的装置，其特征在于，包括压紧机构(1)、真空管路(2)、锁紧机构(3)、导柱(4)、支撑架(5)及底板(6)，其中底板(6)上设有两个导柱(4)，多个依次弹性连接的压紧机构(1)与两个所述导柱(4)滑动配合，各压紧机构(1)分别与一真空管路(2)连接，多个压紧机构(1)的一侧或两侧设有与底板(6)连接的支撑架(5)，所述支撑架(5)上设有锁紧机构(3)，所述锁紧机构(3)用于锁紧位于最上方的所述压紧机构(1)，相邻两个压紧机构(1)之间的空间为检测机械手(8)的测量工位。