[发明专利]一种可降解的蛋白基晶体管型存储器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710507902.8 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN107331773B 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 韩素婷;吕子玉;周晔 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 王永文;刘文求
地址: 518060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种可降解的蛋白基晶体管型存储器及其制备方法,蛋白基晶体管型存储器包括:源极、漏极、半导体层、电荷俘获层、介电层、栅极和蛋白基底,其中半导体层、电荷俘获层、介电层、栅极和蛋白基底从上到下依次设置,所述介电层位于所述栅极上表面,所述电荷俘获层位于所述介电层上表面,所述半导体层位于所述电荷俘获层上表面,所述源极和漏极相对且相互间隔设置于所述半导体层并通过所述半导体层电连接,其中,所述源极和漏极之间的半导体层为沟道区,所述电荷俘获层及栅极与所述源极及漏极均相互间隔。本发明解决了现有技术中蛋白基晶体管型存储器不能完全降解,从而限制了其在生物材料领域广泛应用的问题。
搜索关键词: 一种 降解 蛋白 晶体管 存储器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,包括步骤:A、在硅片或者玻璃基底上旋涂一层PEDOT:PSS溶液制得栅极材料,并在所述栅极材料上继续旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,于室温条件下隔夜结晶,并将带有PEDOT:PSS栅极的蚕丝蛋白膜层剥离,制得以蚕丝蛋白基底为基底的栅极;B、在涂有PEDOT:PSS的栅极上旋涂一层PVPY或PVA溶液并退火处理,制得介电层;C、在介电层上旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,并于室温条件下隔夜结晶,制得蛋白质基的电荷俘获层;D、将水溶性的半导体PEN‑OX蒸镀到电荷俘获层上表面制得有机半导体层;E、将镁热蒸发到半导体层上表面制得源极和漏极。
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