[发明专利]一种可降解的蛋白基晶体管型存储器及其制备方法有效
| 申请号: | 201710507902.8 | 申请日: | 2017-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN107331773B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
| 发明(设计)人: | 韩素婷;吕子玉;周晔 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
| 主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40 |
| 代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
| 地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 降解 蛋白 晶体管 存储器 及其 制备 方法 | ||
1.一种可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,包括步骤:
A、在硅片或者玻璃基底上旋涂一层PEDOT:PSS溶液制得栅极材料,并在所述栅极材料上继续旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,于室温条件下隔夜结晶,并将带有PEDOT:PSS栅极的蚕丝蛋白膜层剥离,制得以蚕丝蛋白基底为基底的栅极;
B、在涂有PEDOT:PSS的栅极上旋涂一层PVPY或PVA溶液并退火处理,制得介电层;
C、在介电层上旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,并于室温条件下隔夜结晶,制得蛋白质基的电荷俘获层;
D、将水溶性的半导体PEN-OX蒸镀到电荷俘获层上表面制得有机半导体层;
E、将镁热蒸发到半导体层上表面制得源极和漏极。
2.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤A具体包括:
A1、在Si片或者玻璃基底上于旋涂仪的转速为3000-5000 r/min,时间为30-50 s的条件下,旋涂一层PEDOT:PSS溶液制得栅极材料;
A2、将所述栅极材料于120℃下退火处理30 min;
A3、在所述栅极材料上多次旋涂蚕丝蛋白质水溶液形成一层50μm厚的蚕丝蛋白层,每次旋涂后于室温下放置4小时,完成全部旋涂后于室温条件下隔夜结晶;
A4、将带有PEDOT:PSS栅极的蚕丝蛋白层膜从Si片或者玻璃基底上剥离,并将其转移至平整的支撑基底上,其中,PEDOT:PSS栅极朝上放置。
3.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤B具体包括:
B1、在PEDOT:PSS栅极上于旋涂仪的转速为4000r/min,时间为30s的条件下旋涂一层PVPY或PVA水溶液;
B2、于120℃下退火处理15min,制得介电层。
4.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤D中将水溶性的半导体PEN-OX蒸镀到电荷俘获层上表面时,所使用的蒸镀仪的速率设为0.2埃/秒。
5.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,步骤E中所述源极和漏极的沟道长度/宽度= 30微米/1000微米。
6.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述蚕丝蛋白质的提取和纯化包括步骤:
P1、将家蚕蚕茧放入煮沸的0.02M碳酸钠溶液中煮沸45min,用去离子水除去丝胶;
P2、将步骤P1中得到的蚕丝蛋白纤维溶解于溴化锂溶液,加热4h;将得到的溶液在去离子水中透析72h,除去蛋白溶液中的溴化锂;透析结束后离心,制得蚕丝蛋白溶液。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





