[发明专利]一种可降解的蛋白基晶体管型存储器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710507902.8 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN107331773B 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 韩素婷;吕子玉;周晔 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 王永文;刘文求
地址: 518060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 降解 蛋白 晶体管 存储器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,包括步骤:

A、在硅片或者玻璃基底上旋涂一层PEDOT:PSS溶液制得栅极材料,并在所述栅极材料上继续旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,于室温条件下隔夜结晶,并将带有PEDOT:PSS栅极的蚕丝蛋白膜层剥离,制得以蚕丝蛋白基底为基底的栅极;

B、在涂有PEDOT:PSS的栅极上旋涂一层PVPY或PVA溶液并退火处理,制得介电层;

C、在介电层上旋涂一层蚕丝蛋白质水溶液,并于室温条件下隔夜结晶,制得蛋白质基的电荷俘获层;

D、将水溶性的半导体PEN-OX蒸镀到电荷俘获层上表面制得有机半导体层;

E、将镁热蒸发到半导体层上表面制得源极和漏极。

2.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤A具体包括:

A1、在Si片或者玻璃基底上于旋涂仪的转速为3000-5000 r/min,时间为30-50 s的条件下,旋涂一层PEDOT:PSS溶液制得栅极材料;

A2、将所述栅极材料于120℃下退火处理30 min;

A3、在所述栅极材料上多次旋涂蚕丝蛋白质水溶液形成一层50μm厚的蚕丝蛋白层,每次旋涂后于室温下放置4小时,完成全部旋涂后于室温条件下隔夜结晶;

A4、将带有PEDOT:PSS栅极的蚕丝蛋白层膜从Si片或者玻璃基底上剥离,并将其转移至平整的支撑基底上,其中,PEDOT:PSS栅极朝上放置。

3.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤B具体包括:

B1、在PEDOT:PSS栅极上于旋涂仪的转速为4000r/min,时间为30s的条件下旋涂一层PVPY或PVA水溶液;

B2、于120℃下退火处理15min,制得介电层。

4.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述步骤D中将水溶性的半导体PEN-OX蒸镀到电荷俘获层上表面时,所使用的蒸镀仪的速率设为0.2埃/秒。

5.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,步骤E中所述源极和漏极的沟道长度/宽度= 30微米/1000微米。

6.根据权利要求1所述的可降解的蛋白基晶体管型存储器的制备方法,其特征在于,所述蚕丝蛋白质的提取和纯化包括步骤:

P1、将家蚕蚕茧放入煮沸的0.02M碳酸钠溶液中煮沸45min,用去离子水除去丝胶;

P2、将步骤P1中得到的蚕丝蛋白纤维溶解于溴化锂溶液,加热4h;将得到的溶液在去离子水中透析72h,除去蛋白溶液中的溴化锂;透析结束后离心,制得蚕丝蛋白溶液。

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