[发明专利]一种四氯化硅的净化方法及应用有效
| 申请号： | 201710498237.0 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107055552B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 宗冰;张宝顺;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴啸寰 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅生产中尾气的提纯技术领域，公开了一种四氯化硅的净化方法及应用，四氯化硅的净化方法主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，包括离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的四氯化硅通入等离子体发生器使Cl2活化得到氯自由基，氯自由基与含碳杂质反应得到含氯化合物。该方法还包括分离步骤：将含氯化合物与四氯化硅分离。该方法能够应用于多晶硅的生产中。本发明的四氯化硅的净化方法能够较好的去除四氯化硅中的含碳杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 净化 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种四氯化硅的净化方法，主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，其特征在于，所述四氯化硅的净化方法包括以下步骤，等离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的所述四氯化硅通入等离子体发生器使所述Cl2活化得到氯自由基，所述氯自由基与所述含碳杂质反应得到含氯化合物；分离步骤：包括将所述含氯化合物与预留于所述等离子体发生器中的络合剂反应得到络合物，使得所述含氯化合物与所述四氯化硅分离。
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