[发明专利]一种四氯化硅的净化方法及应用有效
| 申请号： | 201710498237.0 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107055552B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 宗冰;张宝顺;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴啸寰 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 净化 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氯化硅的净化方法，主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，其特征在于，所述四氯化硅的净化方法包括以下步骤，
等离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的所述四氯化硅通入等离子体发生器使所述Cl2活化得到氯自由基，所述氯自由基与所述含碳杂质反应得到含氯化合物；
分离步骤：包括将所述含氯化合物与预留于所述等离子体发生器中的络合剂反应得到络合物，使得所述含氯化合物与所述四氯化硅分离。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述等离子体发生器的电极上设置有电介质。
3.根据权利要求2所述的四氯化硅的净化方法，其特征在于，所述电介质为氧化铝或者石英。
4.权利要求1至3中任一项所述的四氯化硅的净化方法在生产多晶硅中的应用。
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