[发明专利]晶棒的测试方法以及晶棒生长装置在审
| 申请号： | 201710487582.4 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109112614A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒的测试方法以及晶棒生长装置，所述晶棒的测试方法包括：提供一生长中的晶棒，所述晶棒具有生长棱线；采集所述生长棱线的图像数据；将采集的所述生长棱线的图像数据与预设值进行比较。本发明提供的晶棒的测试方法以及晶棒生长装置，通过采集晶棒的生长棱线的图像数据，并将采集的所述生长棱线的图像数据与预设值进行比较，可及时高效的反馈晶棒的长晶情况，从而确定晶棒是否生长正常，相比于人工判断，提高了判断的准确性，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒 棱线 生长 图像数据 生长装置 采集 测试 预设 人工判断 生产效率 种晶 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种晶棒的测试方法，其特征在于，所述晶棒的测试方法包括：提供一生长中的晶棒，所述晶棒具有生长棱线；采集所述生长棱线的图像数据；将采集的所述生长棱线的图像数据与预设值进行比较。
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