[发明专利]靶材加工方法在审

专利信息
申请号: 201710486091.8 申请日: 2017-06-23
公开(公告)号: CN109108715A 公开(公告)日: 2019-01-01
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;鲍伟江 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23Q11/00 分类号: B23Q11/00;B23Q11/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 吴敏
地址: 315400 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种靶材加工方法,包括:提供靶材和刀具,所述刀具用于切削所述靶材;提供冷却液,当所述刀具切削所述靶材时,使所述冷却液喷向所述靶材的切削部位;所述冷却液的喷射压力控制在100Kg/cm2‑150Kg/cm2之间。因此,在切削靶材的过程中,当靶材表面产生切屑时,具有较高喷射压力的冷却液能够将切屑冲断,使切屑不会堆积在靶材的表面,避免损伤靶材表面或损坏刀具。同时,较高喷射压力的冷却液还能够快速冷却切屑,使切屑因温度降低而硬化,从而使切削更容易发生断裂。
搜索关键词: 靶材 切屑 冷却液 切削 刀具 高喷射压力 靶材表面 靶材加工 刀具切削 快速冷却 冷却液喷 喷射压力 切削部位 温度降低 冲断 堆积 断裂 损伤 硬化
【主权项】:
1.一种靶材加工方法,其特征在于,包括:提供靶材和刀具,所述刀具用于切削所述靶材;提供冷却液,当所述刀具切削所述靶材时,使所述冷却液喷向所述靶材的切削部位;所述冷却液的喷射压力控制在100Kg/cm2‑150Kg/cm2之间。
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