[发明专利]靶材加工方法在审
| 申请号： | 201710486091.8 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109108715A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;鲍伟江 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q11/00 | 分类号： | B23Q11/00;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 切屑 冷却液 切削 刀具 高喷射压力 靶材表面 靶材加工 刀具切削 快速冷却 冷却液喷 喷射压力 切削部位 温度降低 冲断 堆积 断裂 损伤 硬化 | ||
1.一种靶材加工方法，其特征在于，包括：
提供靶材和刀具，所述刀具用于切削所述靶材；
提供冷却液，当所述刀具切削所述靶材时，使所述冷却液喷向所述靶材的切削部位；
所述冷却液的喷射压力控制在100Kg/cm2-150Kg/cm2之间。
2.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述冷却液为多股，多股冷却液共同喷向所述切削部位。
3.如权利要求2所述的靶材加工方法，其特征在于，多股所述冷却液分别从多个喷嘴中喷出，所述喷嘴的当量直径在1mm-2mm之间。
4.如权利要求3所述的靶材加工方法，其特征在于，所述喷嘴固定设置于所述刀具，且所述喷嘴的开口朝向所述刀具的刀尖。
5.如权利要求3所述的靶材加工方法，其特征在于，所述喷嘴的开口到所述刀尖的距离控制在1cm-3cm之间。
6.如权利要求4或5所述的靶材加工方法，其特征在于，所述喷嘴为两个，分别设置于所述刀具的两侧，或，均设置于所述刀具的同一侧。
7.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述冷却液的总喷射流量控制在70L/min-200L/min之间。
8.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述冷却液为乳化液。
9.如权利要求8所述的靶材加工方法，其特征在于，所述冷却液中，包含基础油和水，所述基础油的质量分数控制在5％-10％之间。
10.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述冷却液的温度控制在10℃-20℃之间。
11.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述刀具切削所述靶材的速度越快，所述冷却液的喷射压力越高。
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