[发明专利]一种陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明提供一种陶瓷靶材的制备方法，[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3，其中M为Hf、Zr和Sn中的一种；具体步骤为(1)烘料，将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、La2O3、MO2置于烘箱中烘料；(2)配料，将步骤(1)烘干的原料按照[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3相应的化学计量比称量；(3)球磨，将步骤(2)称量好的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料；(4)干燥，将步骤(3)制得的均匀浆料烘干；(5)煅烧，将步骤(4)烘干的粉料过筛并轻压成块状坯体置于马弗炉中；(6)球磨，将步骤(5)煅烧后的粉料研磨成细粉；(7)制坯，将步骤(6)制成的陶瓷粉料采用钢模手压成样片；(8)烧结，将步骤(7)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中；(9)冷却，自然冷却至室温。本发明制备方法相对简单，整个过程没有使用含铅的原料，是一种绿色制备技术。

主权项

一种陶瓷靶材的制备方法，具体为[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷靶材，其中M为Hf、Zr和Sn中的一种，其特征在于具体步骤为：(1)烘料：称量前将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、La2O3、MO2置于烘箱中烘料3～6小时，烘料温度为100～120℃；(2)配料：将步骤(1)烘干的原料按照[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3相应的化学计量比称量；(3)球磨：将步骤(2)称量好的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料，混料时间为4～12小时，制成均匀浆料；(4)干燥：将步骤(3)制得的均匀浆料烘干；(5)煅烧：将步骤(4)烘干的粉料过筛并轻压成块状坯体置于马弗炉中，在800～950℃煅烧4～8小时，制成煅烧粉料；(6)球磨：将步骤(5)煅烧后的粉料研磨成细粉，再次球磨、烘干得到陶瓷粉料；(7)制坯：将步骤(6)制成的陶瓷粉料采用钢模手压成直径5～20mm、厚度约0.5～1.2mm的样片，将样片放入冷等静压机中，施加200～350MPa的压力，保压60～180s，制得[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷坯体，其中M为Hf、Zr和Sn中的一种；(样片厚度0.5mm的端点值在具体实施例中并未有体现)(8)烧结：将步骤(7)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中，在1100～1200℃烧结4～6小时；(9)冷却：自然冷却至室温，即制得[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷靶材。