[发明专利]一种陶瓷靶材的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710481516.6 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN107188555A 公开(公告)日: 2017-09-22
发明(设计)人: 彭彪林;徐梦星;李路成 申请(专利权)人: 广西大学
主分类号: C04B35/453 分类号: C04B35/453;C04B35/622
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司44245 代理人: 杨卫华
地址: 530004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种陶瓷靶材的制备方法,具体为[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷靶材,其中M为Hf、Zr和Sn中的一种,其特征在于具体步骤为:

(1)烘料:称量前将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、La2O3、MO2置于烘箱中烘料3~6小时,烘料温度为100~120℃;

(2)配料:将步骤(1)烘干的原料按照[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3相应的化学计量比称量;

(3)球磨:将步骤(2)称量好的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料,混料时间为4~12小时,制成均匀浆料;

(4)干燥:将步骤(3)制得的均匀浆料烘干;

(5)煅烧:将步骤(4)烘干的粉料过筛并轻压成块状坯体置于马弗炉中,在800~950℃煅烧4~8小时,制成煅烧粉料;

(6)球磨:将步骤(5)煅烧后的粉料研磨成细粉,再次球磨、烘干得到陶瓷粉料;

(7)制坯:将步骤(6)制成的陶瓷粉料采用钢模手压成直径5~20mm、厚度约0.5~1.2mm的样片,将样片放入冷等静压机中,施加200~350MPa的压力,保压60~180s,制得[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷坯体,其中M为Hf、Zr和Sn中的一种;(样片厚度0.5mm的端点值在具体实施例中并未有体现)

(8)烧结:将步骤(7)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中,在1100~1200℃烧结4~6小时;

(9)冷却:自然冷却至室温,即制得[(Bi1/2Na1/2)0.9118Ba0.0582La0.02]Ti0.96M0.04O3陶瓷靶材。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法,其特征在于,步骤(1)中所述的起始原料的重量份数配比为:Bi2O3:40~50份,Na2CO3:5~15份,BaCO3:4~7份,TiO2:30~35份,La2O3:1~2份,MO2:1~3份。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法,其特征在于,步骤(5)中所述的煅烧温度为900℃。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法,其特征在于,步骤(5)中所述的煅烧时间为6小时。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法,其特征在于,步骤(8)中所述的烧结时间为5小时。

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  • 本发明涉及一种经编贾卡、经编贾卡材料及其制备方法,该经编贾卡材料的制备方法包括下述制备步骤:(1)取Bi2O3、Na2CO3、TiO2、Nb2O5和Sb2O3原料,根据化学式(1‑x)(Na1/2Bi1/2)TiO3‑x(Na1/2Bi1/2)(Sb1/2Nb1/2)O3配比;(2)以无水乙醇为球磨介质进行球磨,合成后加入聚乙烯醇溶液;(3)于100MPa的条件下压制成直径为16‑20mm且厚1‑1.5mm的圆坯,以2.5‑3.4℃/min的速度升温至600℃,保温1.8‑2.2h,排胶,以180‑220℃/h的升温速度于1100‑1300℃下烧结1.8‑2.2h;(4)置于60‑80℃的硅油内进行极化;获得所述经编贾卡材料。本发明具有贾卡寿命延长、成本低、灵敏度和精度提高的优点。
  • 一种压敏电阻材料-201610766180.3
  • 张颖 - 张颖
  • 2016-08-29 - 2019-03-12 - C04B35/453
  • 本案公开了一种压敏电阻材料,由以下重量份的材料组成:98~100重量份的氧化锌;50~52重量份的氧化钇;3~5重量份的二氧化钛;50~52重量份的氧化镱;2~4重量份的氧化锡;1~3重量份的氧化硒;5~7重量份的钛酸锶;2~4重量份的氧化铼;2~4重量份的碳酸锰;6~8重量份的二氧化硅;4~6重量份硝酸铝;10~12重量份的稀土烧结物。本案通过引入与锌离子半径相近的钇离子和镱离子,使得以氧化锌为主要成分的传统配方转变为以氧化锌、氧化钇和氧化镱为主要成分的新配方。结合新配方中各种添加剂,使得所得到的压敏电阻材料具有较高的非线性系数、较低的泄露电流、较强的抗大电流能力和较高的电压梯度。
  • 低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法-201811505302.9
  • 孙本双;何季麟;舒永春;曾学云;陈杰;李庆奎;杨淑敏;刘洋;梁鹏;赵旭;齐超;张雨;仇晨 - 郑州大学
  • 2018-12-10 - 2019-02-22 - C04B35/453
  • 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法,该方法包括,氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,真空除气,得到料浆;料浆在压力下注入成型模具,冷等静压强化,得到靶材素坯;靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥,在空气气氛下程序升温至脱脂温度,保持设定的时间,在氧气气氛下程序升温至烧结温度,保持设定时间;停止通入氧气,程序降温至室温,得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低,烧结时间大大缩短,有效抑制了晶粒长大,保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀,平均晶粒度为4~6μm;相对密度大于99.6%;电阻率低至1.24×10‑4Ω.cm,具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。
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