[发明专利]衬底研磨装置有效
| 申请号： | 201710473797.0 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107538337B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 郑花奎;尹锡烈;李康彬;李凤雨;张根浩;张升勳;郑盛旭;郑焕暻 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了衬底研磨装置，根据本发明的衬底研磨装置包括本体部件、连接部件、研磨柱部件和研磨环部件，其中，所述本体部件包括支承部和从所述支承部的中央区域突出的突出部，所述连接部件包括与所述突出部结合的结合部和从所述结合部的一部分突出的结合轴，所述研磨柱部件限定有供所述结合轴插入的结合槽，其中所述研磨柱部件的至少一部分在与所述结合轴的长度方向平行的截面上包括曲线，并且所述研磨环部件与所述支承部的边缘区域结合。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 研磨 装置 | ||
【主权项】：
衬底研磨装置，包括：本体部件，包括支承部和从所述支承部的中央区域突出的突出部；连接部件，包括与所述突出部结合的结合部和从所述结合部的一部分突出的结合轴；研磨柱部件，限定有供所述结合轴插入的结合槽，并且所述研磨柱部件的至少一部分在与所述结合轴的长度方向平行的截面上包括曲线；以及研磨环部件，与所述支承部的边缘区域结合。
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