[发明专利]衬底研磨装置

说明书

公开了衬底研磨装置，根据本发明的衬底研磨装置包括本体部件、连接部件、研磨柱部件和研磨环部件，其中，所述本体部件包括支承部和从所述支承部的中央区域突出的突出部，所述连接部件包括与所述突出部结合的结合部和从所述结合部的一部分突出的结合轴，所述研磨柱部件限定有供所述结合轴插入的结合槽，其中所述研磨柱部件的至少一部分在与所述结合轴的长度方向平行的截面上包括曲线，并且所述研磨环部件与所述支承部的边缘区域结合。

技术领域

本发明涉及研磨装置，更详细地，涉及衬底研磨装置。

背景技术

在显示装置中，平板显示装置(Flat Panel Display)作为具有平坦且薄的形状的薄型显示装置，其包括液晶显示装置(Liquid Crystal Display)、有机发光显示装置(Organic Light Emitting Diode Display)等。平板显示装置包括显示图像的显示面板。通常，显示面板是在通过将布置有显示图像所需的器件的下部衬底和上部衬底粘合而形成母面板之后将母面板切割成期望的单元大小而形成的。此时，母面板的切割工艺由利用切割轮(cutting wheel)形成切断槽的工艺和利用破碎机(breaker)等击打切断槽的工艺构成。显示面板可通过这种切割工艺被划分成期望的大小。

此外，近年来，在具有多种设计的显示装置中，开发出了角落呈曲面形状的显示装置。作为一示例，使角落呈曲面形状的衬底切割工艺可使用研磨石来进行。

发明内容

本发明的目的在于提供能够将衬底的角落研磨成曲面形状的衬底研磨装置。

为了实现上述目的的、根据本发明实施方式的衬底研磨装置包括本体部件、连接部件、研磨柱部件和研磨环部件，其中，所述本体部件包括支承部和从所述支承部的中央区域突出的突出部，所述连接部件包括与所述突出部结合的结合部和从所述结合部的一部分突出的结合轴，所述研磨柱部件限定有供所述结合轴插入的结合槽，并且所述研磨柱部件的至少一部分在与所述结合轴的长度方向平行的截面上包括曲线，并且所述研磨环部件与所述支承部的边缘区域结合。

根据本发明实施方式，所述研磨柱部件包括布置在所述结合部的上部处的第一研磨柱部和与所述第一研磨柱部的上部连接的第二研磨柱部，并且所述结合槽沿着所述第一研磨柱部和所述第二研磨柱部的中心轴线限定。

根据本发明实施方式，其特征在于，所述第二研磨柱部包括连接至所述第一研磨柱部的底表面、与所述底表面相对的上表面、连接所述底表面与所述上表面的外侧表面和内侧表面，并且所述第二研磨柱部的外侧线在与所述底表面垂直的截面上具有曲线形状。

根据本发明实施方式，其特征在于，所述底表面具有盘形状，并且所述上表面具有环形状。

根据本发明实施方式，其特征在于，所述底表面的面积在水平面上比所述上表面的面积大。

根据本发明实施方式，其特征在于，在与所述底表面垂直的截面上，所述第二研磨柱部的上侧线的长度与所述结合槽的长度之和为6毫米(mm)以上。

根据本发明实施方式，其特征在于，在与所述底表面垂直的截面上，所述上侧线的长度比所述结合槽的长度短。

根据本发明实施方式，其特征在于，在与所述底表面垂直的截面上，所述第二研磨柱部的下侧线的长度和所述结合槽的长度之和为26毫米(mm)以上。

根据本发明实施方式，其特征在于，在与所述底表面垂直的截面上，所述第一研磨柱部的外侧线具有直线形状。

根据本发明实施方式，其特征在于，所述第一研磨柱部和所述第二研磨柱部为一体型。

根据本发明实施方式，其特征在于，所述第一研磨柱部具有圆柱形形状。