[发明专利]衬底研磨装置

权利要求书

1.衬底研磨装置，包括：

本体部件，包括支承部和从所述支承部的中央区域突出的突出部；

连接部件，包括与所述突出部结合的结合部和从所述结合部的一部分突出的结合轴；

研磨柱部件，限定有供所述结合轴插入的结合槽并具有平坦的上表面，并且所述研磨柱部件的至少一部分在与所述结合轴的长度方向平行的截面上包括曲线；以及

研磨环部件，与所述支承部的边缘区域结合。

2.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其中，

所述研磨柱部件包括布置在所述结合部的上部处的第一研磨柱部和与所述第一研磨柱部的上部连接的第二研磨柱部，以及

所述结合槽沿着所述第一研磨柱部和所述第二研磨柱部的中心轴线限定。

3.如权利要求2所述的衬底研磨装置，其中，

所述第二研磨柱部包括连接至所述第一研磨柱部的底表面、与所述底表面相对的上表面以及连接所述底表面与所述上表面的外侧表面和内侧表面，以及

所述第二研磨柱部的外侧线在与所述底表面垂直的截面上具有曲线形状。

4.如权利要求3所述的衬底研磨装置，其中，所述第二研磨柱部的所述底表面具有中空的盘形状，并且所述第二研磨柱部的所述上表面具有环形状。

5.如权利要求3所述的衬底研磨装置，其中，所述第二研磨柱部的所述底表面的面积在水平面上大于所述第二研磨柱部的所述上表面的面积。

6.如权利要求3所述的衬底研磨装置，其中，在与所述底表面垂直的截面上，所述第二研磨柱部的上侧线的长度与所述结合槽的长度之和为6毫米以上。

7.如权利要求3所述的衬底研磨装置，其中，在与所述底表面垂直的截面上，所述第一研磨柱部的外侧线具有直线形状。

8.如权利要求2所述的衬底研磨装置，其中，所述第一研磨柱部具有圆柱形形状。

9.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其中，

所述本体部件在所述中央区域与所述边缘区域之间的结合区域中限定至少一个结合槽，以及

所述衬底研磨装置还包括旋转部件，所述旋转部件与所述结合槽结合并使所述本体部件旋转。

10.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其中，所述研磨柱部件和所述研磨环部件包括彼此不同的材料。