[发明专利]一种硅片切割废砂浆的回收利用方法

摘要

本发明涉及一种硅片切割废砂浆的回收利用方法，属于资源再生技术领域。本发明首先将废砂浆和水混合，加热煮制降粘，离心分离分别得到液相和固相，将液相经活性炭脱色和离子交换树脂处理，减压蒸馏得以回收聚乙二醇，再通过压滤得到柠檬汁压滤液，利用柠檬汁压滤液对固相进行预处理，接着通过盐酸彻底去除固相中金属杂质，剩下碳化硅和硅粉混合物，再选用非极性的烟焦油和鸭子油作为捕收剂，仲辛醇为起泡剂，促进极性油分散在水中，形成气泡胚，同时促进气泡胚的矿化，使固相混合物中颗粒较大的碳化硅得以上浮，从而完成对碳化硅和硅粉的分离。本发明回收得到的碳化硅及硅粉纯度较高，且回收工艺简单，具有广阔的应用前景。

主权项

一种硅片切割废砂浆的回收利用方法，其特征在于具体操作步骤为：（1）将待回收的硅片切割废砂浆和水混合后加热煮沸，自然冷却至室温后离心处理，分离得到下层固相和上层液相，备用；（2）将上述液相和活性炭按质量比为5:1混合后摇床振荡浸渍1～2h，过滤分离得到滤液，将滤液通过离子交换树脂，收集流出液，用氢氧化钠溶液调节流出液pH至8.5～10.5，得到预处理流出液；（3）将上述预处理流出液离心处理，分离去除沉淀物，得到离心液，将所得离心液减压蒸馏至离心液含水量为0.2～0.4%，自然冷却后回收得到聚乙二醇；（4）取柠檬榨汁，收集柠檬汁，将柠檬汁放入压滤机中，循环压滤8～10min，收集压滤液，将压滤液和步骤（1）备用的固相按质量比为2:1混合后放入球磨机中研磨1～2h，得到预处理固相；（5）将上述预处理固相和浓度为1mol/L盐酸混合后超声振荡浸渍，超声振荡浸渍结束后，过滤分离得到浸渍滤渣；（6）将上述所得浸渍滤渣和烟焦油以及鸭子油混合得到混合物，再将混合物和水混合后超声分散，得到分散液；（7）用盐酸调节上述分散液pH至6.0～6.5，并向分散液中加入仲辛醇，加热升温至65～68℃，用高速搅拌器以1000～1200r/min转速搅拌50～55min，搅拌结束后静置40～50min，分离取出上浮的泡沫，烘干得到浮选滤渣，分别用无水乙醇和去离子水冲洗后即得高纯度碳化硅，将浮选剩余液过滤，分离得到滤渣，用去离子水冲洗15～20min后烘干，得到硅粉，即可完成对硅片切割废砂浆的回收利用。