[发明专利]拼接式精细金属掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201710453418.1 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107354425B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种拼接式精细金属掩膜板及其制作方法。所述拼接式精细金属掩膜板将多个子掩膜板(3)对应安装在掩膜框(1)的多个安装槽(12)内拼接成大尺寸的掩膜板，于每一安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间设置数个独立控制的第一压电体(51)，于每一安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间设置数个独立控制的第二压电体(52)，相应的第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生精确的延伸或收缩使得子掩膜板(3)微移动来调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度，能够提高精细金属掩膜板的精度及良率，降低制作成本，适用于制作大尺寸高解析度OLED显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 精细 金属 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，包括：一掩膜框(1)，所述掩膜框(1)包括多个安装分区(11)，每一安装分区(11)设置一个安装槽(12)；与掩膜框(1)的多个安装分区(11)数量对等的多个子掩膜板(3)，每一个子掩膜板(3)对应安装在一个安装槽(12)内；所述子掩膜板(3)包括子掩膜框(31)、及固定在所述子掩膜框(31)上的子金属掩膜(32)；于每一安装分区(11)内设在安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间的数个独立控制的第一压电体(51)；以及于每一安装分区(11)内设在安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间的数个独立控制的第二压电体(52)；第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生延伸或收缩使得相应的子掩膜板(3)微移动，从而调节各个子掩膜板(3)的位置精度。
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