[发明专利]一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺在审
| 申请号： | 201710442224.1 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107267937A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 卢燕;游金阁;肖赛竹;杨海丽;苏东东;朱迎利;王峰;施积海;赵向东;张健;张宏涛 | 申请（专利权）人： | 中铝洛阳铜加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人： | 王滨生 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，主要用于IC行业领域，该产品开发成功，为发展本国经济及技术，采用国产材料替代进口意义重大，采取预热—熔炼—铸造—加热—挤压—一次拉伸—退火—二次拉伸—光亮退火—精整—检查力学性能—入库的工艺步骤，实现纯度99.99％以上，杂质0.0003％P、0.0002％Mn以下，低氧超低杂质高纯无氧铜制备，其纯度高于国标TU1材料，纯度99.97％以上，达到美国标准C10100标准，纯度99.99％以上；加工工艺研究，采用合适的挤压工艺，合适的加工率，再结晶退火等措施，使材料的内部组织均匀，晶粒度≤0.080mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 纯度 铜管 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，其特征在于：预热—熔炼—铸造—加热—挤压—一次拉伸—退火—二次拉伸—光亮退火—精整—检查力学性能—入库。
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