[发明专利]一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺

权利要求书

1.一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，其特征在于：预热—熔炼—铸造—加热—挤压—一次拉伸—退火—二次拉伸—光亮退火—精整—检查力学性能—入库。

2.根据权利要求1所述的一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，其特征在于：预热：原料采用高纯无氧铜系合金，铜含量99.99％以上，氧含量5ppm以下，剪除四周毛边，厚度为15mm以上，无铜豆、铜绿，干燥清洁，对于有铜豆或铜绿的原料清除铜豆或铜绿后，干燥清洁备用，进入预热干燥炉进行预热，预热干燥炉采用阴极铜烘烤炉，预热后的原料等于或大于200℃；

熔炼：将预热后的原料以2～3分钟/块的加料速度加入熔炼炉，熔炼炉上设置细缝，以便于将需要添加的原料通过细缝加入熔炼炉内，熔炼炉内不加入脱氧剂进行沉淀脱氧或者通过木炭的扩散脱氧实现低氧，脱氧时间30～80分钟，所述木炭采用硬阔木煅烧产生的含碳90％以上的煅烧木炭，所述木炭均为预热干燥后加入熔炼炉内；所述需要添加的原料均为在预热干燥炉内处于预热状态备用的原料，脱氧后对熔炼炉加热，熔炼炉达到设定的温度后，原料溶化为铜液，停止加热使熔炼炉处于保温状态，向熔炼炉内通入99.95％的高纯氮气，流量100米³以上，防止进氧。

3.根据权利要求1所述的一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，其特征在于：铸造：熔炼炉和铸造炉均采用全密封炉体，熔炼炉和铸造炉之间通过管道使熔炼炉和铸造炉连为一体式密封结构，所述管道上设置流量控制机构，熔炼炉内的铜液达到设定的保温时段后，通过流量控制机构使熔炼炉内的铜液经管道进入铸造炉的结晶器内，铸造过程采用立式半连续铸造，结晶器内覆盖炭黑保护，铸造温度1130～1200℃，铸造速度4～10米/时，铸造水压10～100KPa；对铸造的圆锭的底部氧含量不均匀部分切除500mm以上，浇口部分切除50mm以上，对氧含量均匀的铸造的圆锭根据需要切成小段。

4.根据权利要求1所述的一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，其特征在于：加热：采用环型气体加热炉对锭坯进行加热，加热温度：720～800℃、加热时间：2～4小时；

挤压：采用4000吨油压机及配套模具对加热后的锭坯进行挤压加工成坯料，挤压比：10～20，冷却方式：水冷；

一次拉伸：采用拉伸机及配套模具对挤压后的坯料进行第一次拉伸加工，拉伸加工率：10～30％；

退火：采用退火炉对拉伸后的坯料进行中间退火，退火温度：600～700℃、退火时间：1～3h；

二次拉伸：采用拉伸机及配套模具对退火后的坯料再次进行拉伸加工至成品管材，拉伸加工率：10～30％；

光亮退火：采用退火炉对成品管材进行成品光亮退火，退火温度：600～700℃，退火时间：1～3h；

精整：对退火后的成品管材进行人工或机械精整；

检查力学性能：抗拉强度Rm≥200MPa，断后伸长率A≥40％，晶粒度0.055～0.075mm；

入库：按要求对精整后的成品棒材进行检查合格后进行包装入库成为M态的合金管材成品。