[发明专利]坩埚装置

摘要

本发明提供一种坩埚装置，其包括容器本体和盖板模组，所述盖板模组可拆卸地盖接于所述容器本体上端，所述盖板模组包括内盖板和外盖板；所述内盖板和外盖板中的一个开设有若干个通气孔及至少一个蒸镀通孔，另一个设有至少一个能够遮盖所述蒸镀通孔的遮挡部，每个遮挡部能够遮盖至少一个所述蒸镀通孔，并且，所述内盖板和外盖板能够相对旋转以使所述遮挡部完全遮盖所述蒸镀通孔或者使所述遮挡部与蒸镀通孔错位。本发明的坩埚装置能够减少蒸镀材料的喷溅，避免污染坩埚腔体及材料浪费，提高蒸镀成品品质，同时节约成本。

主权项

1.一种坩埚装置，其特征在于，包括容器本体和盖板模组，所述盖板模组可拆卸地盖接于所述容器本体上端，所述盖板模组包括内盖板和外盖板；所述内盖板上设有若干个第一通气孔和多个第一蒸镀通孔，所述外盖板上设有若干个第二通气孔和多个第二蒸镀通孔，所述第二蒸镀通孔的数量与所述第一蒸镀通孔的数量保持一致，相邻两个第二蒸镀通孔之间形成遮挡部；所述内盖板和外盖板能够相对旋转以使所述第一通气孔和第二通气孔重叠或错位；当所述第一通气孔与第二通气孔重叠时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔错位；当所述第一通气孔与第二通气孔错位时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔重叠。