[发明专利]坩埚装置

说明书

本发明提供一种坩埚装置，其包括容器本体和盖板模组，所述盖板模组可拆卸地盖接于所述容器本体上端，所述盖板模组包括内盖板和外盖板；所述内盖板和外盖板中的一个开设有若干个通气孔及至少一个蒸镀通孔，另一个设有至少一个能够遮盖所述蒸镀通孔的遮挡部，每个遮挡部能够遮盖至少一个所述蒸镀通孔，并且，所述内盖板和外盖板能够相对旋转以使所述遮挡部完全遮盖所述蒸镀通孔或者使所述遮挡部与蒸镀通孔错位。本发明的坩埚装置能够减少蒸镀材料的喷溅，避免污染坩埚腔体及材料浪费，提高蒸镀成品品质，同时节约成本。

技术领域

本发明涉及蒸镀工艺领域，具体而言，本发明涉及一种坩埚装置。

背景技术

真空蒸镀是将待成膜的物质(通常为有机材料)置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基板表面沉积成膜的过程。坩埚是真空蒸镀的重要组成部分，它是熔化并精炼金属液体以及有机材料加热、反应的容器，能够保证蒸镀成膜顺利进行。

传统蒸镀用坩埚装置通常设计成碗状或杯状，待成膜的有机材料通过坩埚出口蒸镀到工件或基板上。在工艺过程中，坩埚中的有机材料往往容易因受热不均匀而发生喷溅现象，既造成了有机材料的浪费，也污染了坩埚的腔室，甚至会影响到工件或基板的蒸镀效果，从而降低工件或基板的质量。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种坩埚装置，其特点是能够减少蒸镀材料的喷溅，避免污染坩埚腔体及材料浪费，提高蒸镀成品品质，同时节约成本。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供一种坩埚装置，其包括容器本体和盖板模组，所述盖板模组可拆卸地盖接于所述容器本体上端，所述盖板模组包括内盖板和外盖板；所述内盖板上设有若干个第一通气孔和多个第一蒸镀通孔，所述外盖板上设有若干个第二通气孔和多个第二蒸镀通孔，所述第二蒸镀通孔的数量与所述第一蒸镀通孔的数量保持一致，相邻两个第二蒸镀通孔之间形成遮挡部；所述内盖板和外盖板能够相对旋转以使所述第一通气孔和第二通气孔重叠或错位；当所述第一通气孔与第二通气孔重叠时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔错位；当所述第一通气孔与第二通气孔错位时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔重叠。

可选的，所述内盖板上设有所述通气孔和蒸镀通孔，所述外盖板上设有所述遮挡部；或者，所述外盖板上设有所述通气孔和蒸镀通孔，所述内盖板上设有所述遮挡部；所述遮挡部与蒸镀通孔形状一致，且所述遮挡部的尺寸等于或大于所述蒸镀通孔的尺寸。

进一步地，还包括辅助旋转组件，所述外盖板外侧与所述辅助旋转组件上设有相互匹配的传动结构，所述外盖板在所述外盖板上的传动结构和所述辅助旋转组件上的传动结构的配合下能够相对所述内盖板旋转任意角度。

优选地，所述外盖板外侧和辅助旋转组件上的传动结构皆为沿竖直方向设置的齿状凸条，相邻两齿状凸条之间形成凹槽，所述外盖板上的齿状凸条能够与所述辅助旋转组件上的凹槽啮合，并且，所述辅助旋转组件上的齿状凸条能够与所述外盖板上的凹槽啮合。

可选地，所述外盖板外侧的传动结构为沿竖直方向设置的齿状凸条，所述辅助旋转组件上的传动结构为能够与所述齿状凸条相匹配的旋转杆。

进一步地，所述辅助旋转组件还包括伸缩件，所述伸缩件用于调整所述辅助旋转组件上的传动结构的高度。

较佳地，所述容器本体的外侧面上与所述盖板模组接触的部分保持光滑状态，其余部分沿竖直方向设有条状凸起。

较佳地，所述内盖板嵌设于所述容器本体的腔室内部，且所述内盖板的外侧面为光滑面。

进一步地，所述容器本体内部设有支撑部，用于支撑所述内盖板以使所述内盖板处于靠近所述容器本体上端处。

相比现有技术，本发明的方案具有以下优点：