[发明专利]坩埚装置

权利要求书

1.一种坩埚装置，其特征在于，包括容器本体和盖板模组，所述盖板模组可拆卸地盖接于所述容器本体上端，所述盖板模组包括内盖板和外盖板；所述内盖板上设有若干个第一通气孔和多个第一蒸镀通孔，所述外盖板上设有若干个第二通气孔和多个第二蒸镀通孔，所述第二蒸镀通孔的数量与所述第一蒸镀通孔的数量保持一致，相邻两个第二蒸镀通孔之间形成遮挡部；所述内盖板和外盖板能够相对旋转以使所述第一通气孔和第二通气孔重叠或错位；当所述第一通气孔与第二通气孔重叠时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔错位；当所述第一通气孔与第二通气孔错位时，所述第一蒸镀通孔与第二蒸镀通孔重叠。

2.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述内盖板上设有所述通气孔和蒸镀通孔，所述外盖板上设有所述遮挡部；或者，所述外盖板上设有所述通气孔和蒸镀通孔，所述内盖板上设有所述遮挡部；所述遮挡部与蒸镀通孔形状一致，且所述遮挡部的尺寸等于或大于所述蒸镀通孔的尺寸。

3.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，还包括辅助旋转组件，所述外盖板外侧与所述辅助旋转组件上设有相互匹配的传动结构，所述外盖板在所述外盖板上的传动结构和所述辅助旋转组件上的传动结构的配合下能够相对所述内盖板旋转任意角度。

4.根据权利要求3所述的坩埚装置，其特征在于，所述外盖板外侧和辅助旋转组件上的传动结构皆为沿竖直方向设置的齿状凸条，相邻两齿状凸条之间形成凹槽，所述外盖板上的齿状凸条能够与所述辅助旋转组件上的凹槽啮合，并且，所述辅助旋转组件上的齿状凸条能够与所述外盖板上的凹槽啮合。

5.根据权利要求3所述的坩埚装置，其特征在于，所述外盖板外侧的传动结构为沿竖直方向设置的齿状凸条，所述辅助旋转组件上的传动结构为能够与所述齿状凸条相匹配的旋转杆。

6.根据权利要求3所述的坩埚装置，其特征在于，所述辅助旋转组件还包括伸缩件，所述伸缩件用于调整所述辅助旋转组件上的传动结构的高度。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的坩埚装置，其特征在于，所述容器本体的外侧面上与所述盖板模组接触的部分保持光滑状态，其余部分沿竖直方向设有条状凸起。

8.根据权利要求1-6中任意一项所述的坩埚装置，其特征在于，所述内盖板嵌设于所述容器本体的腔室内部，且所述内盖板的外侧面为光滑面。

9.根据权利要求8所述的坩埚装置，其特征在于，所述容器本体内部设有支撑部，用于支撑所述内盖板以使所述内盖板处于靠近所述容器本体上端处。