[发明专利]一种进气机构

摘要

本发明公开了一种进气机构，用于向腔室内通入反应气体，进气机构包括源进气块，源进气块设于腔室侧壁上的凹槽内，源进气块和腔室侧壁的上表面的至少部分覆盖有上盖，源进气块包括通过楔形面相配合的上楔形块和下楔形块，通过驱动下楔形块平移进出凹槽，使上楔形块受下楔形块、腔室侧壁及上盖之间相互作用力的共同作用上下移动，以调整源进气块与上盖、腔室侧壁之间的相对位置，实现源进气块与上盖、上盖与腔室侧壁的同时密封，因此可以补偿因源进气块、上盖、腔室的设计制造误差导致密封失败而造成的浪费，增加了密封的可靠性，并增大了设计制造的容错能力。

主权项

1.一种进气机构，用于向腔室内通入反应气体，所述进气机构包括源进气块，所述源进气块设于所述腔室侧壁上的凹槽内，所述源进气块和所述腔室侧壁的上表面的至少部分覆盖有上盖，其特征在于，所述源进气块包括通过楔形面相配合的上楔形块和下楔形块，通过驱动下楔形块平移进出凹槽，使上楔形块受下楔形块、腔室侧壁及上盖之间相互作用力的共同作用上下移动，以调整源进气块与上盖、腔室侧壁之间的相对位置，实现源进气块与上盖、上盖与腔室侧壁的同时密封。